Do czego wykorzystuje się kwarc w półprzewodnikach?

W dziedzinie produkcji półprzewodników cały proces obejmuje etapy od wzrostu kryształów krzemu do dyfuzji utleniania, od trawienia do czyszczenia, a kwarcowe elementy konstrukcyjne są zaangażowane w cały proces. Wraz z rozwojem zaawansowanych procesów tolerancja na zanieczyszczenia metalami i cząsteczkami staje się na każdym etapie coraz niższa.

Thekwarc syntetycznycharakteryzuje się takimi cechami, jak wysoka czystość, brak pęcherzyków, brak cząstek wtrąceń, wysoka przepuszczalność UV itp. To sprawia, że ​​stopniowo zastępuje tradycyjne naturalne materiały kwarcowe w zaawansowanych procesach produkcyjnych, co może znacznie poprawić wydajność i wydłużyć żywotność.

01 Pierścień trawiący

Pod bombardowaniem plazmą (zawierającą wysoce reaktywny fluor i gazy na bazie chloru) materiały wymagają wyjątkowo wysokiej obojętności chemicznej i odporności na korozję. Jednocześnie materiały kwarcowe muszą charakteryzować się wyjątkowo wysoką czystością, aby zapobiec wytrawianiu zanieczyszczeń cząstkami. Pierścienie trawiące są elementami eksploatacyjnymi; obecnie większość urządzeń wykorzystuje naturalny kwarc. Jednak niektóre zaawansowane procesy (2 nm, 5 nm i inne procesy poniżej 28 nm) zastąpiły je syntetycznymi pierścieniami trawiącymi kwarc ze względu na ścisłą kontrolę cząstek i jonów metali.

02 Kopuła kwarcowa

Przezroczyste okno obserwacyjne w kształcie kopuły instalowane na górze komory reakcyjnej w sprzęcie do trawienia i osadzania cienkowarstwowego (takiego jak CVD). Wymaga nie tylko wyjątkowo wysokiej czystości, aby zapobiec zanieczyszczeniu komory procesowej zanieczyszczeniami, ale także wymaga pewnych właściwości optycznych, aby umożliwić przechodzenie sygnałów świetlnych z systemu detekcji w celu monitorowania procesu w czasie rzeczywistym. Kwarc syntetyczny o wyjątkowo wysokiej przepuszczalności i wysokiej czystości jest szeroko stosowany w DOME (utlenianiu dyfuzyjnym).

03 Rura pieca

W wysokotemperaturowych piecach do utleniania/dyfuzji służy jako rdzeń rurowy, w którym mieści się wafel i przeprowadza reakcję procesową. Wymagana jest wyjątkowo wysoka odporność cieplna, umożliwiająca długotrwałą pracę w temperaturach powyżej 1200°C bez mięknięcia i deformacji. Kwarc naturalny, ze względu na wysoką zawartość Al i niską zawartość hydroksylu, osiąga wysoką odporność na ciepło i jest szeroko stosowany w rurach piecowych. Jednakże, ponieważ zaawansowane procesy nakładają coraz bardziej rygorystyczne kontrole jonów zanieczyszczeń metalicznych w komorze, wysoce odporne na ciepło syntetyczne materiały kwarcowe stopniowo zastępują rury pieca z naturalnego kwarcu.

04 Czyszczenie zbiornika

Stosowany do przechowywania wysoce korozyjnych roztworów czyszczących o wysokiej czystości (takich jak SC1, SC2, kwas fluorowodorowy, kwas siarkowy itp.) do czyszczenia na mokro płytek. Materiały kwarcowe mają doskonałą odporność na korozję kwasową i zasadową: są odporne na erozję prawie wszystkich mocnych kwasów (z wyjątkiem kwasu fluorowodorowego i gorącego kwasu fosforowego), zapewniając, że zbiornik nie ulegnie korozji podczas długotrwałego użytkowania. Jednakże przy długotrwałym użytkowaniu jony metali w zbiorniku kwarcowym są stopniowo uwalniane, co łatwo powoduje zanieczyszczenie. Kwarc syntetyczny klasy PPB skutecznie zmniejsza zanieczyszczenie jonami zanieczyszczeń metalicznych, a jego pozbawiony pęcherzyków charakter sprawia, że ​​lepiej nadaje się do obróbki gładkich, gęstych powierzchni, zmniejszając przyczepność zanieczyszczeń.

05. Okno utwardzania UV

Zainstalowany na sprzęcie utwardzającym UV, służy jako okno przepuszczające światło UV. Spośród wszystkich materiałów optycznych kwarc syntetyczny ma najwyższą przepuszczalność w pasmach głębokiego ultrafioletu (DUV) do ultrafioletu (UV) (do 185 nm). Wysoka wytrzymałość i odporność na promieniowanie zapewniają również, że jego działanie nie pogarsza się ani nie odbarwia pod wpływem długotrwałego napromieniowania UV.

06. Zaawansowany nośnik opakowań

W zaawansowanych procesach pakowania (takich jak Fan-Out, 2.5D/3D IC) syntetyczne kwarcowe płytki nośne mogą być stosowane jako płyty nośne do tymczasowego podtrzymywania, mocowania, transportu i przetwarzania ultracienkich płytek lub rekonstrukcji płytek. Syntetyczny materiał kwarcowy można przetwarzać w celu uzyskania doskonałej płaskości i sztywności, zapewniając solidne wsparcie dla ultracienkich wiórów i zapewniając dokładność procesu.

Semicorex dostarcza produkty wysokiej jakościniestandardowe komponenty kwarcowedo różnych obróbek. W celu uzyskania niestandardowych rozwiązań lub dodatkowych informacji technicznych, prosimy o kontakt z naszym zespołem inżynierów.

Telefon: +86-13567891907

E-mail: sales@semicorex.com