Ceramiczne grzejniki

W procesie front-end (FEOL) produkcji półprzewodników,opłatekNależy podlegać różnym zabiegom procesowym, zwłaszcza wafel musi zostać podgrzany do określonej temperatury, i istnieją ścisłe wymagania, ponieważ jednolitość temperatury ma bardzo ważny wpływ na wydajność produktu; Jednocześnie sprzęt półprzewodnikowy musi działać w obecności próżni, plazmy i gazów chemicznych, co wymaga stosowania grzejników ceramicznych.Ceramiczne grzejnikisą ważnymi elementami sprzętu do osadzania się na półprzewodnika. Są one używane w komorze procesowej i bezpośrednio kontaktują się z opłatą w celu przeniesienia i umożliwienia opłatki w celu uzyskania stabilnej i jednolitej temperatury procesu oraz do reakcji z wysoką precyzją na powierzchni płytki w celu wygenerowania cienkich warstw.

Ponieważ sprzęt do osadzania się cienki używany przez ceramiczne grzejniki obejmuje wysokie temperatury, ogólnie stosuje się materiały ceramiczne głównie oparte na azotku aluminium (ALN). Ponieważ azotek aluminiowy ma izolację elektryczną i doskonałą przewodność cieplną; Ponadto jego współczynnik rozszerzania cieplnego jest zbliżony do krzemu i ma doskonałą odporność na plazmę, jest bardzo odpowiedni do użycia jako komponent sprzętu półprzewodnikowego.

Elektrostatyczne uchwyty (ESC) są stosowane głównie w urządzeniach trawających, głównie tlenku aluminium (AL2O3). Ponieważ sam chuck elektrostatyczny zawiera również grzejnik, przyjmując suche trawienie jako przykład, konieczne jest kontrolowanie opłatek w określonej temperaturze w zakresie -70 ℃ ~ 100 ℃ w celu utrzymania pewnej charakterystyki trawienia. Dlatego wafel musi zostać podgrzewany lub rozproszony przez elektrostatyczne Chuck, aby dokładnie kontrolować temperaturę opłatek. Ponadto, aby zapewnić jednolitość powierzchni opłat, elektrostatyczny Chuck często musi zwiększyć strefę kontroli temperatury, aby osobno kontrolować temperaturę każdej strefy kontroli temperatury, aby poprawić wydajność procesu. Oczywiście wraz z rozwojem technologii rozróżnienie między tradycyjnymi ceramicznymi grzejnikami i elektrostatycznymi churzykami zaczęło się zamazać. Niektóre ceramiczne grzejniki mają podwójne funkcje ogrzewania w wysokiej temperaturze i adsorpcji elektrostatycznej.

Grzeźnik ceramiczny obejmuje podstawę ceramiczną, która przenosi opłatę i cylindryczny korpus wsporniczy, który wspiera go z tyłu. Wewnątrz lub na powierzchni podstawy ceramicznej, oprócz elementu rezystancyjnego (warstwa grzewcza) do ogrzewania, istnieje również elektroda częstotliwości radiowej (warstwa częstotliwości radiowej). Aby osiągnąć szybkie ogrzewanie i chłodzenie, grubość podstawy ceramicznej powinna być cienka, ale zbyt cienka również zmniejszy sztywność. Korpus podtrzymujący grzejnik jest na ogół wykonany z materiału o współczynniku rozszerzalności cieplnej podobnym do podstawy, więc korpus wsporniczy jest często wykonany z azotku aluminium. Grzałka przyjmuje unikalną strukturę złącza wału (wału) na dole, co może chronić zaciski i przewody przed skutkami osocza i żrące gazów chemicznych. W ciele podporowym znajduje się wlot gazu i rura gniazdkowa, aby zapewnić równomierną temperaturę grzejnika. Podstawa i korpus podtrzymujący są chemicznie związane z warstwą wiązania.

SemiCorex oferuje wysokiej jakościceramiczne grzejniki. Jeśli masz jakieś zapytania lub potrzebujesz dodatkowych szczegółów, nie wahaj się z nami skontaktować.

Kontakt telefon # +86-13567891907

E -mail: sales@semicorex.com