Grafit z powłoką TaC powstaje poprzez pokrycie powierzchni podłoża grafitowego o wysokiej czystości cienką warstwą węglika tantalu w opatentowanym procesie chemicznego osadzania z fazy gazowej (CVD).
Węglik tantalu (TaC) to związek składający się z tantalu i węgla. Ma metaliczną przewodność elektryczną i wyjątkowo wysoką temperaturę topnienia, co czyni go ogniotrwałym materiałem ceramicznym znanym ze swojej wytrzymałości, twardości oraz odporności na ciepło i zużycie. Temperatura topnienia węglików tantalu osiąga szczyt przy około 3880°C, w zależności od czystości i ma jedną z najwyższych temperatur topnienia wśród związków binarnych. To sprawia, że jest to atrakcyjna alternatywa, gdy wymagania dotyczące wyższych temperatur przekraczają możliwości wydajności stosowane w procesach epitaksjalnych złożonych półprzewodników, takich jak MOCVD i LPE.
Dane materiałowe powłoki Semicorex TaC
|
Projektowanie |
Parametry |
|
Gęstość |
14,3 (gm/cm3) |
|
Emisyjność |
0.3 |
|
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
|
Twardość (HK) |
2000 |
|
Rezystancja (om-cm) |
1×10-5 |
|
Stabilność termiczna |
<2500 ℃ |
|
Zmiana wymiaru grafitu |
-10~-20um (wartość referencyjna) |
|
Grubość powłoki |
Typowa wartość ≥20um (35um±10um) |
|
|
|
|
Powyższe wartości są typowymi wartościami |
|
Porowate pierścienie z węglika tantalu Semicorex to wysokowydajne elementy ogniotrwałe zaprojektowane specjalnie do procesu fizycznego transportu pary (PVT) wzrostu kryształów węglika krzemu (SiC), charakteryzujące się monolityczną spiekaną strukturą, która zapewnia wyjątkową stabilność termiczną i kontrolowaną przepuszczalność gazu.*
Czytaj więcejWyślij zapytanieSusceptory płytek grafitowych powlekanych Semicorex TaC to najnowocześniejsze komponenty stosowane zazwyczaj w celu stabilnego podparcia i pozycjonowania płytek półprzewodnikowych podczas zaawansowanych procesów epitaksjalnych półprzewodników. Wykorzystując najnowocześniejsze technologie produkcyjne i dojrzałe doświadczenie produkcyjne, Semicorex angażuje się w dostarczanie naszym cenionym klientom specjalnie zaprojektowanych grafitowych susceptorów waflowych pokrytych TaC o wiodącej na rynku jakości.
Czytaj więcejWyślij zapytanieSusceptory Semicorex CVD TaC to wysokowydajne susceptory grafitowe z gęstą powłoką TaC, zaprojektowane w celu zapewnienia doskonałej równomierności termicznej i odporności na korozję w wymagających procesach epitaksjalnego wzrostu SiC. Semicorex łączy zaawansowaną technologię powlekania CVD ze ścisłą kontrolą jakości, aby zapewnić trwałe susceptory o niskim poziomie zanieczyszczeń, którym zaufali światowi producenci SiC epi.*
Czytaj więcejWyślij zapytaniePierścienie prowadzące pokryte węglikiem tantalu Semicorex to wysokowydajne elementy pierścieni stosowane w sprzęcie do hodowli kryształów półprzewodników. Zostały specjalnie zaprojektowane, aby stworzyć odpowiedni gradient temperatury i stabilne środowisko przepływu powietrza podczas wzrostu kryształów. Wybierając pierścienie prowadzące pokryte węglikiem tantalu Semicorex, skorzystasz z niezrównanej technologii powlekania oraz wysoce wydajnej i stabilnej produkcji.
Czytaj więcejWyślij zapytanieTygiel grafitowy powlekany Semicorex TaC jest wytwarzany z grafitu pokrywającego węglik tantalu metodą CVD, która jest najbardziej odpowiednim materiałem stosowanym w procesie produkcji półprzewodników. Semicorex to firma, która konsekwentnie specjalizuje się w powłokach ceramicznych CVD i oferuje najlepsze rozwiązania materiałowe w branży półprzewodników.*
Czytaj więcejWyślij zapytanieKomponenty powlekane Semicorex TaC we wzroście epitaksjalnym to cenna obrobiona część znajdująca się we wlocie powietrza w procesie epitaksjalnym w półprzewodniku. Semicorex to najwyższej klasy firma specjalizująca się w technologii powlekania CVD TaC w Chinach i eksportująca produkty na cały świat.*
Czytaj więcejWyślij zapytanie