Grafit powłokowy TaC jest tworzony przez powlekanie powierzchni podłoża grafitowego o wysokiej czystości cienką warstwą węglika tantalu w zastrzeżonym procesie chemicznego osadzania z fazy gazowej (CVD).
Węglik tantalu (TaC) to związek składający się z tantalu i węgla. Ma metaliczną przewodność elektryczną i wyjątkowo wysoką temperaturę topnienia, co czyni go ogniotrwałym materiałem ceramicznym znanym ze swojej wytrzymałości, twardości oraz odporności na ciepło i zużycie. Temperatura topnienia węglików tantalu osiąga szczyt około 3880°C w zależności od czystości i ma jedną z najwyższych temperatur topnienia wśród związków binarnych. To czyni go atrakcyjną alternatywą, gdy wyższe wymagania temperaturowe przekraczają możliwości wydajności stosowane w procesach epitaksjalnych złożonych półprzewodników, takich jak MOCVD i LPE.
Dane materiałowe Semicorex TaC Coating
Projektowanie |
Parametry |
Gęstość |
14,3 (g/cm³) |
Emisyjność |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Twardość |
2000 |
Rezystancja (Ohm-cm) |
1×10-5 |
Stabilność termiczna |
<2500â |
Zmiana wymiaru grafitu |
-10~-20um (wartość referencyjna) |
Grubość powłoki |
≤ 20um typowa wartość (35um ± 10um) |
|
|
Powyższe są typowymi wartościami |
|
Semicorex TaC Coating Chuck, najnowocześniejszy uchwyt próżniowy wyposażony w powłoki TaC, zaprojektowany specjalnie do pieców półprzewodnikowych. Semicorex angażuje się w dostarczanie produktów wysokiej jakości po konkurencyjnych cenach. Nie możemy się doczekać, aby zostać Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.
Czytaj więcejWyślij zapytanieMożesz mieć pewność, że kupisz płytkę epitaksjalną z powłoką TaC z naszej fabryki. Płyta epitaksjalna z powłoką Semicorex TaC (węglik tantalu) charakteryzuje się wyjątkową odpornością na ciepło, dzięki czemu idealnie nadaje się do zastosowań narażonych na wysokie temperatury. Jego niezwykła odporność na ciepło zapewnia trwałość i niezawodność w wymagających warunkach. Semicorex angażuje się w dostarczanie produktów wysokiej jakości po konkurencyjnych cenach. Nie możemy się doczekać, aby zostać Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.
Czytaj więcejWyślij zapytanieSemicorex TaC Coated Plate to wyspecjalizowana tarcza przeznaczona do stosowania w procesach epitaksjalnych SiC, wykonana z precyzją z wysokiej jakości materiału grafitowego. Jego powierzchnia jest starannie pokryta węglikiem tantalu (TaC), związkiem znanym z wyjątkowej czystości i wytrzymałości. Semicorex angażuje się w dostarczanie produktów wysokiej jakości po konkurencyjnych cenach. Nie możemy się doczekać, aby zostać Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.
Czytaj więcejWyślij zapytanieSemicorex TaC Coating Jig to kluczowy element procesu produkcji półprzewodników, wykonany z niezwykłą starannością z grafitu i wzmocniony sprężystą warstwą powłoki z węglika tantalu. Ten kluczowy element wyposażenia stanowi połączenie najnowocześniejszej inżynierii materiałowej i inżynierii precyzyjnej, zaprojektowanej tak, aby spełniać rygorystyczne wymagania operacyjne i rygorystyczne standardy panujące w produkcji półprzewodników. Semicorex angażuje się w dostarczanie produktów wysokiej jakości po konkurencyjnych cenach. Nie możemy się doczekać, aby zostać Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.
Czytaj więcejWyślij zapytanieSemicorex TaC Coating Susceptor to szczytowe osiągnięcie w inżynierii materiałowej, starannie wykonany z wysokiej jakości grafitu i wzmocniony powłoką z węglika tantalu. Zaprojektowany głównie do stosowania w procesach wzrostu kryształów SiC i procesach epitaksjalnych SiC, ten innowacyjny komponent jest wzorem trwałości i wydajności w ekstremalnych środowiskach termicznych i chemicznych. Semicorex angażuje się w dostarczanie produktów wysokiej jakości po konkurencyjnych cenach. Nie możemy się doczekać, aby zostać Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.
Czytaj więcejWyślij zapytaniePierścień pokryty węglikiem tantalu Semicorex jest kluczowym elementem stosowanym w obróbce półprzewodników. Został zaprojektowany ze specjalistyczną powłoką, która spełnia wiele funkcji w celu zwiększenia wydajności i trwałości elementów grafitowych w maszynach półprzewodnikowych. Semicorex angażuje się w dostarczanie produktów wysokiej jakości po konkurencyjnych cenach. Nie możemy się doczekać, aby zostać Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.
Czytaj więcejWyślij zapytanie