Chiny Głowica prysznicowa Producenci, Dostawcy, Fabryka

Głowica prysznicowa SiC (węglik krzemu) to wyspecjalizowany element stosowany w różnych procesach przemysłowych, szczególnie w przemyśle produkcji półprzewodników. Został zaprojektowany do równomiernej i precyzyjnej dystrybucji i dostarczania gazów procesowych podczas chemicznego osadzania z fazy gazowej (CVD) i procesów wzrostu epitaksjalnego.

Głowica prysznicowa ma kształt dysku lub płyty z wieloma równomiernie rozmieszczonymi otworami lub dyszami na jej powierzchni. Otwory te służą jako wyloty gazów procesowych, umożliwiając ich wtryskiwanie do komory procesowej lub komory reakcyjnej. Rozmiar, kształt i rozmieszczenie otworów może się różnić w zależności od konkretnego zastosowania i wymagań procesu.

Jedną z kluczowych zalet stosowania głowicy prysznicowej SiC jest jej doskonała przewodność cieplna. Ta właściwość umożliwia efektywne przenoszenie ciepła i równomierny rozkład temperatury na powierzchni głowicy prysznicowej, zapobiegając powstawaniu gorących punktów i zapewniając spójne warunki procesu. Zwiększona przewodność cieplna pozwala również na szybkie schłodzenie głowicy prysznicowej po zakończeniu procesu, minimalizując przestoje i zwiększając ogólną produktywność.

Głowice prysznicowe SiC są bardzo trwałe i odporne na zużycie, nawet przy długotrwałym narażeniu na gazy korozyjne i wysokie temperatury. Ta trwałość przekłada się na wydłużenie okresów między konserwacjami i skrócenie przestojów sprzętu, co skutkuje oszczędnościami kosztów i zwiększoną niezawodnością procesu.

Oprócz swojej wytrzymałości, głowice prysznicowe SiC oferują doskonałe możliwości dystrybucji gazu. Precyzyjnie zaprojektowane wzory i konfiguracje otworów zapewniają równomierny przepływ i dystrybucję gazu na powierzchni podłoża, sprzyjając spójnemu osadzaniu się filmu i zwiększonej wydajności urządzenia. Jednolita dystrybucja gazu pomaga również zminimalizować różnice w grubości warstwy, składzie i innych krytycznych parametrach, przyczyniając się do lepszej kontroli procesu i wydajności.

Semicorex oferuje głowicę prysznicową półprzewodnikową ze spiekanego węglika krzemu o niskiej rezystancji.  Mamy możliwość projektowania na zamówienie i dostarczania zaawansowanych materiałów ceramicznych, wykorzystujących różnorodne unikalne możliwości.