Susceptor naleśnikowy, okrągły kształt nośnika waflowego stosowany w obróbce półprzewodników.
Epitaksja to kluczowy etap przetwarzania półprzewodników, polegający na wyhodowaniu warstwy epitaksjalnej na płytkach półprzewodnikowych, w której płytki są przenoszone na susceptorach grafitowych. Właściwości susceptorów grafitowych mają kluczowe znaczenie dla jakości płytek epi.
Susceptory grafitowe z powłoką z węglika krzemu
Semicorex dostarcza susceptory i komponenty do wszystkich reaktorów epitaksyjnych, m.inwsporniki beczkowei naleśniki. Stosujemy grafit o wysokiej czystości i powłokę CVD SiC.