Podczas obróbki płytki półprzewodnikowe muszą być wygrzewane w specjalistycznych piecach. Reaktor składa się z wydłużonych, cylindrycznych rur, w których płytki są umieszczane na łódeczkach w określonych, jednakowych odstępach. Aby przetrwać warunki przetwarzania panujące w komorze i aby zminimalizować ilość odpadów wytwarzanych przez sprzęt przetwarzający, łódeczki i wiele innych inne urządzenia stosowane w przetwarzaniu płytek są wykonane z materiału takiego jak węglik krzemu (SiC).
Łodzie załadowane partią wafli do przetworzenia są ustawiane na długich, wspornikowych łopatkach, za pomocą których można je wprowadzać do pieców rurowych i reaktorów i z nich wyjmować. Wiosła zawierają spłaszczoną sekcję nośną, na której można ustawić jedną lub więcej łódek, oraz długi uchwyt umieszczony na jednym końcu spłaszczonej sekcji nośnej, za pomocą którego można manipulować wiosłem.
W przypadku łopatek wspornikowych zaleca się stosowanie rekrystalizowanego węglika krzemu z cienką warstwą CVD SiC, która charakteryzuje się wysoką czystością i jest najlepszym wyborem dla komponentów w obróbce półprzewodników.
Semicorex może świadczyć usługi dostosowane do indywidualnych potrzeb zgodnie z rysunkami i środowiskiem pracy.
Łopatka wspornikowa Semicorex SiC o wysokiej czystości wykonana jest ze spiekanej ceramiki SiC o wysokiej czystości, która stanowi część konstrukcyjną pieca poziomego w półprzewodniku. Semicorex to doświadczona firma dostarczająca komponenty SiC dla przemysłu półprzewodników.*
Czytaj więcejWyślij zapytanieŁopatka ceramiczna Semicorex SiC to wysokiej czystości element wspornikowy zaprojektowany do wysokotemperaturowych pieców półprzewodnikowych, stosowany głównie w procesach utleniania i dyfuzji. Wybór Semicorex oznacza uzyskanie dostępu do zaawansowanych rozwiązań ceramicznych, które zapewniają wyjątkową stabilność, czystość i trwałość w krytycznych zastosowaniach związanych z obsługą płytek.*
Czytaj więcejWyślij zapytanieŁopatki Semicorex SiC to ramię wspornikowe z węglika krzemu o wysokiej czystości, przeznaczone do transportu płytek w piecach do utleniania i dyfuzji w wysokiej temperaturze powyżej 1000 ℃. Wybór Semicorex oznacza zapewnienie wyjątkowej jakości materiałów, precyzyjnej inżynierii i długoterminowej niezawodności, której zaufały wiodące fabryki półprzewodników.*
Czytaj więcejWyślij zapytanie