Większość producentów substratów SiC stosuje obecnie konstrukcję tygla, która obejmuje porowaty cylinder grafitowy do procesu w gorącym polu. Proces polega na umieszczeniu cząstek SiC o wysokiej czystości pomiędzy ścianką tygla grafitowego a porowatym cylindrem grafitowym, jednocześnie pogłębiając tygiel i zwiększając jego średnicę. Zwiększa to obszar odparowania surowca, jednocześnie zwiększając objętość wsadu.
Nowy proces rozwiązuje problem defektów kryształów powstających w wyniku rekrystalizacji górnej części surowca w miarę wzrostu powierzchni materiału źródłowego, co wpływa na przepływ sublimowanego materiału. Co więcej, nowy proces zmniejsza wrażliwość rozkładu temperatury obszaru surowca na wzrost kryształów, stabilizuje wydajność przenoszenia masy, zmniejsza wpływ wtrąceń węgla w późnej fazie wzrostu i dodatkowo poprawia jakość kryształów SiC. Ponadto w nowym procesie zastosowano metodę mocowania tacki na kryształy bez pestek, która nie przykleja się do kryształów zaszczepiających, co zapobiega rozszerzalności cieplnej i ułatwia odprężanie. Ten nowy proces optymalizuje pole termiczne i znacznie poprawia efektywność ekspansji.
Należy zauważyć, że jakość i wydajność monokryształów SiC otrzymanych w tym nowym procesie w dużym stopniu zależą od właściwości fizycznych grafitu tyglowego i grafitu porowatego. Jednak podaż na rynku jest obecnie bardzo krótka w porównaniu z rosnącym popytem.
Kluczowe cechy porowatego grafitu:
Odpowiedni rozkład wielkości porów;
Wystarczająco wysoka porowatość;
Mechaniczne, aby spełnić wymagania dotyczące przetwarzania i użytkowania.
Semicorex oferuje spersonalizowane, wysokiej jakości produkty z porowatego grafitu, zgodnie z Twoimi wymaganiami.