Jako profesjonalny producent chcielibyśmy dostarczyć Państwu komponenty półprzewodnikowe. Semicorex jest Twoim partnerem w ulepszaniu przetwarzania półprzewodników. Nasze powłoki z węglika krzemu są gęste, odporne na wysoką temperaturę i chemikalia, które są często stosowane w całym cyklu produkcji półprzewodników, w tym w obróbce płytek półprzewodnikowych i płytek oraz w produkcji półprzewodników.
Komponenty pokryte SiC o wysokiej czystości mają kluczowe znaczenie dla procesów zachodzących w półprzewodnikach. Nasza oferta obejmuje materiały eksploatacyjne grafitowe do gorących stref hodowli kryształów (grzejniki, susceptory tygli, izolacja) po precyzyjne komponenty grafitowe do urządzeń do przetwarzania płytek, takie jak grafitowe susceptory powlekane węglikiem krzemu do epitaksji lub MOCVD.
Zalety procesów półprzewodnikowych
Fazy osadzania cienkowarstwowego, takie jak epitaksja lub MOCVD, lub przetwarzanie płytek, takie jak trawienie lub implant jonowy, muszą wytrzymywać wysokie temperatury i ostre czyszczenie chemiczne. Semicorex dostarcza konstrukcje grafitowe pokryte węglikiem krzemu (SiC) o wysokiej czystości, zapewniające doskonałą odporność na ciepło i trwałą odporność chemiczną, a nawet jednorodność termiczną dla stałej grubości i wytrzymałości warstwy epi.
Pokrywy komór →
Pokrywy komór stosowane w hodowli kryształów i przetwarzaniu płytek muszą wytrzymywać wysokie temperatury i ostre czyszczenie chemiczne.
Efektor końcowy →
Efektor końcowy to ręka robota, która przesuwa płytki półprzewodnikowe pomiędzy pozycjami w sprzęcie do przetwarzania płytek i nośnikach.
Pierścienie wlotowe →
Pierścień wlotowy gazu pokryty SiC przez sprzęt MOCVD. Mieszanka ma wysoką odporność na ciepło i korozję, co zapewnia dużą stabilność w ekstremalnych warunkach.
Pierścień ostrości →
Semicorex dostarcza pierścień ostrości pokryty węglikiem krzemu, który jest naprawdę stabilny w przypadku RTA, RTP lub ostrego czyszczenia chemicznego.
Uchwyt waflowy →
Ultrapłaskie, ceramiczne uchwyty do płytek próżniowych Semicorex są pokryte SiC o wysokiej czystości, stosowanym w procesie obsługi płytek.
Monokrystaliczne elektrody krzemowe Semicorex służą zarówno jako elektrody, jak i ścieżki gazu trawiącego podczas procesu trawienia płytek. Monokrystaliczne elektrody krzemowe Semicorex to niezbędne komponenty krzemowe zaprojektowane specjalnie do wysokiej klasy produkcji trawienia półprzewodników, które mogą pomóc poprawić precyzję i jednorodność trawienia.
Czytaj więcejWyślij zapytanieŁopatki wspornikowe Semicorex to precyzyjnie zaprojektowany komponent przeznaczony do zastosowań związanych z przetwarzaniem półprzewodników w wysokiej temperaturze i wysokiej czystości. Semicorex dostarcza wysokiej jakości łopatki wspornikowe, które spełniają rygorystyczne wymagania zaawansowanych systemów transportu płytek i zarządzania temperaturą.*
Czytaj więcejWyślij zapytanieSilikonowe pierścienie trawiące Semicorex to precyzyjne elementy trawiące w kształcie pierścienia, wykonane z monokrystalicznego krzemu o wysokiej czystości. Są to podstawowe części krzemowe stosowane w sprzęcie do trawienia plazmowego, zaprojektowane specjalnie w celu stworzenia optymalnych warunków trawienia plazmowego. Wybierz Semicorex, wybierz wysokiej jakości silikonowe pierścienie trawiące.
Czytaj więcejWyślij zapytanieRury piecowe Semicorex do LPCVD to precyzyjnie wykonane elementy rurowe z jednolitą i gęstą powłoką CVD SiC. Specjalnie zaprojektowane do zaawansowanego procesu chemicznego osadzania z fazy gazowej pod niskim ciśnieniem, rury pieca Semicorex do LPCVD są w stanie zapewnić odpowiednie środowiska reakcyjne o wysokiej temperaturze i niskim ciśnieniu, aby poprawić jakość i wydajność osadzania cienkowarstwowego płytek.
Czytaj więcejWyślij zapytanieRury piecowe Semicorex CVD pokryte SiC to wysokiej klasy elementy rurowe produkowane specjalnie do wysokotemperaturowej obróbki półprzewodników, takiej jak utlenianie, dyfuzja i wyżarzanie płytek półprzewodnikowych. Wykorzystując zaawansowane technologie przetwarzania i dojrzałe doświadczenie produkcyjne, Semicorex jest zaangażowany w dostarczanie naszym cenionym klientom precyzyjnie obrobionych rur piecowych powlekanych CVD SiC o wiodącej na rynku jakości.
Czytaj więcejWyślij zapytanieRury procesowe Semicorex SiC są wykonane z ceramiki SiC o wysokiej czystości z powłoką CVD SiC i nadają się do pieców poziomych w półprzewodnikach. Biorąc pod uwagę jakość produktów i obsługę posprzedażną, Semicorex jest tym, który chce prowadzić wysokiej jakości interesy z naszymi klientami na całym świecie.*
Czytaj więcejWyślij zapytanie