Jako profesjonalny producent chcielibyśmy dostarczyć Państwu komponenty półprzewodnikowe. Semicorex jest Twoim partnerem w ulepszaniu przetwarzania półprzewodników. Nasze powłoki z węglika krzemu są gęste, odporne na wysoką temperaturę i chemikalia, które są często stosowane w całym cyklu produkcji półprzewodników, w tym w obróbce płytek półprzewodnikowych i płytek oraz w produkcji półprzewodników.
Komponenty pokryte SiC o wysokiej czystości mają kluczowe znaczenie dla procesów zachodzących w półprzewodnikach. Nasza oferta obejmuje materiały eksploatacyjne grafitowe do gorących stref hodowli kryształów (grzejniki, susceptory tygli, izolacja) po precyzyjne komponenty grafitowe do urządzeń do przetwarzania płytek, takie jak grafitowe susceptory powlekane węglikiem krzemu do epitaksji lub MOCVD.
Zalety procesów półprzewodnikowych
Fazy osadzania cienkowarstwowego, takie jak epitaksja lub MOCVD, lub przetwarzanie płytek, takie jak trawienie lub implant jonowy, muszą wytrzymywać wysokie temperatury i ostre czyszczenie chemiczne. Semicorex dostarcza konstrukcje grafitowe pokryte węglikiem krzemu (SiC) o wysokiej czystości, zapewniające doskonałą odporność na ciepło i trwałą odporność chemiczną, a nawet jednorodność termiczną dla stałej grubości i wytrzymałości warstwy epi.
Pokrywy komór →
Pokrywy komór stosowane w hodowli kryształów i przetwarzaniu płytek muszą wytrzymywać wysokie temperatury i ostre czyszczenie chemiczne.
Efektor końcowy →
Efektor końcowy to ręka robota, która przesuwa płytki półprzewodnikowe pomiędzy pozycjami w sprzęcie do przetwarzania płytek i nośnikach.
Pierścienie wlotowe →
Pierścień wlotowy gazu pokryty SiC przez sprzęt MOCVD. Mieszanka ma wysoką odporność na ciepło i korozję, co zapewnia dużą stabilność w ekstremalnych warunkach.
Pierścień ostrości →
Semicorex dostarcza pierścień ostrości pokryty węglikiem krzemu, który jest naprawdę stabilny w przypadku RTA, RTP lub ostrego czyszczenia chemicznego.
Uchwyt waflowy →
Ultrapłaskie, ceramiczne uchwyty do płytek próżniowych Semicorex są pokryte SiC o wysokiej czystości, stosowanym w procesie obsługi płytek.
Rury procesowe Semicorex SiC są wykonane z ceramiki SiC o wysokiej czystości z powłoką CVD SiC i nadają się do pieców poziomych w półprzewodnikach. Biorąc pod uwagę jakość produktów i obsługę posprzedażną, Semicorex jest tym, który chce prowadzić wysokiej jakości interesy z naszymi klientami na całym świecie.*
Czytaj więcejWyślij zapytanieŁopatka wspornikowa Semicorex SiC o wysokiej czystości wykonana jest ze spiekanej ceramiki SiC o wysokiej czystości, która stanowi część konstrukcyjną pieca poziomego w półprzewodniku. Semicorex to doświadczona firma dostarczająca komponenty SiC dla przemysłu półprzewodników.*
Czytaj więcejWyślij zapytaniePlanarny tarcza z monokrystalicznego krzemu firmy Semicorex jest kluczowym elementem w najnowocześniejszym przemyśle wytwórczym półprzewodników. Wyprodukowany z najwyższej jakości monokrystalicznego krzemu, charakteryzuje się wysoce uporządkowaną strukturą krystaliczną i niezwykłą czystością. Te właściwości sprawiają, że jest to idealne rozwiązanie do produkcji niezawodnych, wysokowydajnych folii półprzewodnikowych i folii optycznych.
Czytaj więcejWyślij zapytanieŁodzie z kasetą krzemową Semicorex to wyspecjalizowane nośniki produkowane z 99,9999999% krzemu monokrystalicznego i polikrystalicznego o wysokiej czystości, przeznaczone szczególnie do produkcji półprzewodników o wysokiej zawartości. Wybór Semicorex oznacza, że skorzystasz z niezawodnej jakości, usług dostosowywania i zwiększonej produktywności.
Czytaj więcejWyślij zapytanieIndywidualnie dostosowany porowaty uchwyt ceramiczny to doskonałe rozwiązanie do mocowania i mocowania przedmiotu obrabianego, przeznaczone wyłącznie do produkcji półprzewodników. Wybór Semicorex oznacza, że skorzystasz z niezawodnej jakości, usług dostosowywania i zwiększonej produktywności.
Czytaj więcejWyślij zapytanieGłowica prysznicowa z monokrystalicznego krzemu, znana jako głowica natryskowa gazu lub płyta rozprowadzająca gaz, jest szeroko stosowanym urządzeniem do dystrybucji gazu w procesach produkcji półprzewodników w kluczowych etapach procesu, takich jak czyszczenie, trawienie i osadzanie. Wysokiej jakości i opłacalna głowica prysznicowa z monokrystalicznego krzemu jest niezbędna do poprawy precyzji i jakości produkcji chipów w przemyśle półprzewodników.
Czytaj więcejWyślij zapytanie