Chiny Specjalny grafit Producenci, Dostawcy, Fabryka

Grafit specjalny to rodzaj sztucznego grafitu, który jest przetwarzany. Jest to ważny materiał, który jest niezbędny we wszystkich aspektach procesu produkcji półprzewodnikowej i fotowoltaicznej, w tym wzrost kryształów, implantacja jonów, epitaksja itp.

1. Wzrost kryształów węgla krzemu (sic)

Krzemowa węgliek, jako materiał półprzewodnikowy trzeciej generacji, jest szeroko stosowany w nowych pojazdach energetycznych, komunikacji 5G i innych dziedzinach. W 6-calowym i 8-calowym procesie wzrostu kryształu SIC grafit izostatyczny jest wykorzystywany przede wszystkim do produkcji następujących kluczowych elementów:

Tygły grafitowe: Można to wykorzystać do syntezy surowca sictowego sic, a także pomagać w wzrostu kryształów w wysokich temperaturach. Jego wysoka czystość, oporność w wysokiej temperaturze i odporność na wstrząsy termiczne zapewniają stabilne środowisko wzrostu kryształów.

Grzeźnik grafitu: Zapewnia to jednolity rozkład ciepła, zapewniając wysokiej jakości wzrost kryształu SIC.

Rurka izolacyjna: Utrzymuje to jednolitość temperatury w piecu wzrostu kryształów i zmniejsza utratę ciepła.

2. Implantacja jonów

Implantacja jonów jest kluczowym procesem w produkcji półprzewodników. Graphit isostatyczny jest wykorzystywany przede wszystkim do produkcji następujących komponentów w implanterach jonowych:

Graphit Getter: Absorbuje jony zanieczyszczenia w wiązce jonowej, zapewniając czystość jonów.

Pierścień ogniskowania grafitu: koncentruje się na wiązce jonowej, poprawiając dokładność i wydajność implantu jonowego. Taceka do podłoża grafitowego: używane do wspierania płytek krzemu i utrzymania stabilności i spójności podczas implantacji jonowej.

3. Proces epitaxii

Proces epitaxy jest kluczowym krokiem w produkcji urządzeń półprzewodnikowych. Grafit prasowany isostatycznie służy przede wszystkim do produkcji następujących komponentów w piecach epitaxy:

Tace i podatniki grafitowe: Służy do wspierania płytek krzemowych, zapewniając stabilne wsparcie i jednolite przewodnictwo cieplne podczas procesu epitaksji.

4. Inne aplikacje produkcyjne półprzewodników

Grafit naciśnięty isostatycznie jest również szeroko stosowany w następujących aplikacjach produkcyjnych półprzewodników:

Proces trawienia: używany do produkcji elektrod grafitowych i komponentów ochronnych dla trawników. Jego odporność na korozję i wysoka czystość zapewniają stabilność i precyzję w procesie trawienia.

Chemiczne osadzanie pary (CVD): Służy do produkcji tacek grafitowych i grzejników w piecach CVD. Jego wysoka przewodność cieplna i oporność w wysokiej temperaturze zapewniają jednolite osadzanie się cienkiego warstwy.

Testowanie opakowań: Służy do produkcji opraw testowych i taceń nośnych. Jego wysoka precyzja i niskie zanieczyszczenie zapewniają dokładne wyniki testu.

Zalety części grafitowych

Wysoka czystość:

Korzystając z materiału grafitowego o dużej czystości o wyjątkowo niskiej zawartości zanieczyszczenia, spełnia rygorystyczne wymagania dotyczące czystości materiału w produkcji półprzewodnikowej. Własny piec oczyszczający firmę może oczyszczać grafit poniżej 5ppm.

Wysoka precyzja:

Dzięki zaawansowanemu sprzętowi przetwarzającym i dojrzałej technologii przetwarzania zapewnia on, że dokładność wymiarowa produktu oraz tolerancje formy i pozycji osiągają poziom mikrona.

Wysoka wydajność:

Produkt ma doskonałą odporność na wysoką temperaturę, odporność na korozję, odporność na promieniowanie, wysoką przewodność cieplną i inne właściwości, spełniające różne trudne warunki pracy produkcji półprzewodników.

Dostosowana usługa:

Według klientów, dostosowane usługi projektowania i przetwarzania produktu, aby zaspokoić potrzeby różnych scenariuszy aplikacji.

Rodzaje produktów grafitowych

(1) grafit izostatyczny
Isostatyczne produkty grafitowe są wytwarzane przez zimne tłoczenie izostatyczne. W porównaniu z innymi metodami formowania, tyrcy wytwarzane przez ten proces mają doskonałą stabilność. Produkty grafitowe wymagane dla pojedynczych kryształów SIC mają duży rozmiar, co doprowadzi do nierównej czystości na powierzchni i wewnątrz produktów grafitowych, co nie może spełniać wymagań dotyczących użytkowania. Aby spełnić głębokie wymagania dotyczące głębokiego oczyszczania dużych produktów grafitowych wymaganych dla pojedynczych kryształów SIC, należy przyjąć unikalny proces oczyszczania impulsu w wysokiej temperaturze, aby osiągnąć głębokie i jednolite oczyszczanie produktów grafitowych o dużych lub specjalnych kształtach, aby czystość powierzchni produktu i rdzenia może spełnić wymagania dotyczące zastosowania.

(2) porowaty grafit
Porowaty grafit jest rodzajem grafitu o wysokiej porowatości i niskiej gęstości. W procesie wzrostu kryształu SIC porowaty grafit odgrywa znaczącą rolę w poprawie jednolitości transferu masy, zmniejszaniu szybkości zmiany fazy i poprawie kształtu kryształu.
Zastosowanie porowatego grafitu poprawia jednorodność temperatury i temperatury obszaru surowca, zwiększa różnicę temperatury osiowej w tyglu, a także ma pewien wpływ na osłabienie rekrystalizacji powierzchni surowca; W komorze wzrostu porowaty grafit poprawia stabilność przepływu materiału przez cały proces wzrostu, zwiększa stosunek C/SI obszaru wzrostu, pomaga zmniejszyć prawdopodobieństwo zmiany faz, a jednocześnie porowaty grafit odgrywa również rolę w poprawie interfejsu kryształowego.

(3) filc
Zarówno miękki filc, jak i twardy odczuwa rolę ważnych materiałów izolacyjnych termicznych w wzroście kryształów SIC i połączeniach epitaksjalnych.

(4) Folia grafitowa
Papier grafitowy jest materiałem funkcjonalnym wykonanym z grafitu płatków o wysokiej zawartości węglowych poprzez obróbkę chemiczną i walcowanie w wysokiej temperaturze. Ma wysoką przewodność cieplną, przewodność elektryczną, elastyczność i odporność na korozję.

(5) Materiały kompozytowe
Pole termiczne węglowego węglowego jest jednym z podstawowych materiałów eksploatacyjnych w produkcji fotowoltaicznej pojedynczej kryształów.

Produkcja półkolisowa

SemiCorex tworzy grafit z małą partią, dostosowanymi metodami produkcyjnymi. Produkcja małej partii sprawia, że ​​produkty są bardziej kontrolowane. Cały proces jest kontrolowany przez programowalne kontrolery logiczne (PLC), zarejestrowano szczegółowe dane procesu, umożliwiając całkowitą identyfikowalność cyklu życia.

Podczas całego procesu pieczenia spójność osiągnięta w rezystywności w różnych lokalizacjach i utrzymywała ścisła kontrola temperatury. Zapewnia to jednorodność i niezawodność materiałów grafitowych.

SemiCorex wykorzystuje w pełni technologię prasową izostatyczną, która różni się od innych dostawców; Oznacza to, że grafit jest sam ultra mundur i jest szczególnie ważny w procesach epitaksjalnych. Przeprowadzono kompleksowe testy jednolitości materiału, w tym gęstość, rezystywność, twardość, wytrzymałość na zginanie i wytrzymałość na różnych próbkach.