Pokrywy komór służą do tworzenia czystego, obojętnego i chronionego środowiska w komorach osadzania, dzięki czemu są one narażone na działanie plazmy i wysokiej temperatury podczas procesów osadzania lub trawienia. Pokrywy komór Semicorex to trwałe elementy ceramiczne pokryte węglikiem krzemu metodą chemicznego osadzania z fazy gazowej (CVD), doskonale sprawdzające się w tych trudnych warunkach.