Pokrywy komór służą do tworzenia czystego, obojętnego i chronionego środowiska w komorach osadzania, dzięki czemu są one narażone na działanie plazmy i wysokiej temperatury podczas procesów osadzania lub trawienia. Pokrywy komór Semicorex to trwałe elementy ceramiczne pokryte węglikiem krzemu metodą chemicznego osadzania z fazy gazowej (CVD), doskonale sprawdzające się w tych trudnych warunkach.
Pokrywa SEMICOREX SIC to komponent węglika krzemowego o dużej czystości zaprojektowany do ekstremalnych środowisk przetwarzania półprzewodnikowego. Wybór SEMICOREX oznacza zapewnienie niezrównanej jakości materiałów, inżynierii precyzyjnej i niestandardowych rozwiązań, które zaufały wiodącym producentom półprzewodników na całym świecie.*
Czytaj więcejWyślij zapytanie