Szybkie wyżarzanie termiczne (w skrócie RTA lub RTP) to technologia szybkiego przetwarzania termicznego w produkcji półprzewodników. Jego podstawową zasadą jest szybkie nagrzewanie powierzchni płytki za pomocą promieniującego źródła ciepła o dużej intensywności (takiego jak lampy halogenowe, lasery,......
Czytaj więcejPrzemysł półprzewodników trzeciej generacji podlega szybkiemu rozwojowi. Procesy epitaksji z węglika krzemu (SiC) i azotku galu (GaN) ewoluują w kierunku środowisk operacyjnych o wysokiej temperaturze, surowców o ultrawysokiej czystości i zminiaturyzowanych układów scalonych. Niemniej jednak konwenc......
Czytaj więcejW produkcji półprzewodników utlenianie polega na umieszczeniu płytki w środowisku o wysokiej temperaturze, w którym tlen przepływa przez powierzchnię płytki, tworząc warstwę tlenku. Chroni to płytkę przed zanieczyszczeniami chemicznymi, zapobiega przedostawaniu się prądu upływowego do obwodów, zapob......
Czytaj więcejSemicorex zapewnia zaawansowane susceptory waflowe z powłoką TaC, przeznaczone do wymagających procesów półprzewodnikowych, które wymagają doskonałej stabilności termicznej, odporności chemicznej i precyzyjnego działania podparcia płytek. Ponieważ producenci półprzewodników stale opracowują urządzen......
Czytaj więcejPierścienie ogniskujące to precyzyjne części pierścieniowe, zwykle instalowane wokół uchwytu płytki w sprzęcie do trawienia plazmowego i podczas procesu trawienia są bezpośrednio wystawione na działanie plazmy wysokoenergetycznej. Ich podstawową funkcją jest działanie jako części protektorowe zapewn......
Czytaj więcejJako niezbędne ogniwa rdzenia w produkcji półprzewodników, stabilność i precyzja technologii utrzymywania płytek ma bezpośredni wpływ na wydajność produkcji chipów i jakość gotowego urządzenia. Uchwyty próżniowe i uchwyty elektrostatyczne to dwa główne rozwiązania do mocowania płytek w produkcji pół......
Czytaj więcej