Pierścienie wlotowe gazu służą do przykrycia krawędzi i obwodu płytki, chroniąc krytyczne elementy komory w celu stworzenia czystego, obojętnego i chronionego środowiska oraz wydłużając ich żywotność w komorach do osadzania, dzięki czemu są narażone na działanie plazmy i wysokiej temperatury podczas osadzania lub przetwarzania płytki , dlatego duża trwałość plazmy i wysoka czystość mają kluczowe znaczenie dla końcowej wydajności płytek.
Pierścienie powlekane Semicorex CVD SiC, zaprojektowane specjalnie do wymagających zastosowań w urządzeniach do epitaksji.