Powłoka SiC jest cienką warstwą na susceptorze w procesie chemicznego osadzania z fazy gazowej (CVD). Materiał z węglika krzemu zapewnia szereg zalet w porównaniu z krzemem, w tym 10-krotność przebicia siły pola elektrycznego, 3-krotność pasma wzbronionego, co zapewnia materiałowi wysoką temperaturę i odporność chemiczną, doskonałą odporność na zużycie oraz przewodność cieplną.
Semicorex zapewnia usługi dostosowane do indywidualnych potrzeb, pomaga wprowadzać innowacje dzięki komponentom, które są trwalsze, skraca czas cyklu i poprawia wydajność.
Powłoka SiC ma kilka unikalnych zalet
Odporność na wysoką temperaturę: susceptor pokryty CVD SiC może wytrzymać wysokie temperatury do 1600°C bez znacznej degradacji termicznej.
Odporność chemiczna: Powłoka z węglika krzemu zapewnia doskonałą odporność na szeroką gamę chemikaliów, w tym kwasy, zasady i rozpuszczalniki organiczne.
Odporność na zużycie: Powłoka SiC zapewnia materiałowi doskonałą odporność na zużycie, dzięki czemu nadaje się do zastosowań, które wiążą się z dużym zużyciem.
Przewodność cieplna: Powłoka CVD SiC zapewnia materiałowi wysoką przewodność cieplną, dzięki czemu nadaje się do stosowania w zastosowaniach wysokotemperaturowych wymagających wydajnego przenoszenia ciepła.
Wysoka wytrzymałość i sztywność: Susceptor pokryty węglikiem krzemu zapewnia materiałowi wysoką wytrzymałość i sztywność, dzięki czemu nadaje się do zastosowań wymagających dużej wytrzymałości mechanicznej.
Powłoka SiC jest wykorzystywana w różnych zastosowaniach
Produkcja diod LED: susceptor powlekany CVD SiC jest stosowany w procesie produkcyjnym różnych typów diod LED, w tym niebieskich i zielonych diod LED, diod UV i diod głębokiego UV, ze względu na wysoką przewodność cieplną i odporność chemiczną.
Komunikacja mobilna: Susceptor pokryty CVD SiC jest kluczową częścią HEMT do zakończenia procesu epitaksjalnego GaN-on-SiC.
Przetwarzanie półprzewodników: susceptor pokryty CVD SiC jest używany w przemyśle półprzewodników do różnych zastosowań, w tym przetwarzania płytek i wzrostu epitaksjalnego.
Elementy grafitowe pokryte SiC
Wykonana z grafitu Silicon Carbide Coating (SiC), powłoka jest nakładana metodą CVD na określone gatunki grafitu o dużej gęstości, dzięki czemu może pracować w piecu wysokotemperaturowym z ponad 3000 ° C w atmosferze obojętnej, 2200 ° C w próżni .
Specjalne właściwości i niewielka masa materiału umożliwiają szybkie nagrzewanie, równomierny rozkład temperatury i wyjątkową precyzję sterowania.
Dane materiałowe powłoki Semicorex SiC
Typowe właściwości |
Jednostki |
Wartości |
Struktura |
|
Faza FCC β |
Orientacja |
Frakcja (%) |
111 preferowane |
Gęstość nasypowa |
g/cm³ |
3.21 |
Twardość |
Twardość Vickersa |
2500 |
Pojemność cieplna |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Rozszerzalność cieplna 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Moduł Younga |
Gpa (zgięcie 4-punktowe, 1300°) |
430 |
Wielkość ziarna |
μm |
2~10 |
Temperatura sublimacji |
℃ |
2700 |
Siła Feleksualna |
MPa (RT 4-punktowy) |
415 |
Przewodność cieplna |
(W/mK) |
300 |
Podsumowanie Susceptor powlekany CVD SiC jest materiałem kompozytowym, który łączy w sobie właściwości susceptora i węglika krzemu. Materiał ten posiada unikalne właściwości, w tym odporność na wysoką temperaturę i chemikalia, doskonałą odporność na zużycie, wysoką przewodność cieplną oraz wysoką wytrzymałość i sztywność. Te właściwości sprawiają, że jest to atrakcyjny materiał do różnych zastosowań wysokotemperaturowych, w tym do obróbki półprzewodników, obróbki chemicznej, obróbki cieplnej, produkcji ogniw słonecznych i produkcji diod LED.
Grzejniki Semicorex PBN/PG (pirolityczny azotek boru/grafit pirolityczny) zostały zaprojektowane z zaawansowanych materiałów ceramicznych z azotku boru, starannie wykonanych, aby wytrzymać ekstremalne temperatury przekraczające 1700°C. Semicorex angażuje się w dostarczanie produktów wysokiej jakości po konkurencyjnych cenach. Nie możemy się doczekać, aby zostać Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.
Czytaj więcejWyślij zapytanieUchwyty grzewcze Semicorex PBN, wykonane z ceramiki z azotku boru, stanowią awangardę najnowocześniejszych rozwiązań w zakresie zarządzania ciepłem. Semicorex angażuje się w dostarczanie produktów wysokiej jakości po konkurencyjnych cenach. Nie możemy się doczekać, aby zostać Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.
Czytaj więcejWyślij zapytaniePirolityczne podgrzewacze azotku boru Semicorex reprezentują szczyt wydajności i niezawodności w zastosowaniach wysokotemperaturowych. Semicorex angażuje się w dostarczanie produktów wysokiej jakości po konkurencyjnych cenach. Nie możemy się doczekać, aby zostać Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.
Czytaj więcejWyślij zapytanieGrzejniki Semicorex PBN charakteryzują się wyrafinowaną, trójwarstwową konstrukcją zaprojektowaną tak, aby na nowo zdefiniować standardy wydajności. U jego podstaw leży fundament wykonany z pirolitycznego azotku boru (PBN) o wysokiej czystości, znanego z wyjątkowej przewodności cieplnej i solidnej integralności strukturalnej. z niecierpliwością czekamy na zostanie Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.
Czytaj więcejWyślij zapytaniePierścień prowadzący SiC został zaprojektowany w celu optymalizacji procesu wzrostu monokryształów. Jego wyjątkowa przewodność cieplna zapewnia równomierny rozkład ciepła, przyczyniając się do tworzenia wysokiej jakości kryształów o zwiększonej czystości i integralności strukturalnej. Zaangażowanie firmy Semicorex w wiodącą na rynku jakość w połączeniu z konkurencyjnymi względami fiskalnymi cementuje naszą chęć nawiązania partnerstwa w celu spełnienia wymagań dotyczących transportu płytek półprzewodnikowych.
Czytaj więcejWyślij zapytanieSusceptor Epi-SiC, komponent zaprojektowany ze szczególną dbałością o szczegóły, jest niezbędny do najnowocześniejszej produkcji półprzewodników, szczególnie w zastosowaniach epitaksjalnych. Konstrukcja susceptora Epi-SiC, ucieleśniająca precyzję i innowacyjność, wspiera epitaksjalne osadzanie materiałów półprzewodnikowych na płytkach, zapewniając wyjątkową wydajność i niezawodność działania. Zaangażowanie firmy Semicorex w wiodącą na rynku jakość w połączeniu z konkurencyjnymi względami fiskalnymi cementuje naszą chęć nawiązania partnerstwa w celu spełnienia wymagań dotyczących transportu płytek półprzewodnikowych.
Czytaj więcejWyślij zapytanie