Semicorex jest Twoim partnerem w ulepszaniu przetwarzania półprzewodników. Nasze powłoki z węglika krzemu są gęste, odporne na wysoką temperaturę i chemikalia, które są często stosowane w całym cyklu produkcji półprzewodników, w tym w obróbce płytek półprzewodnikowych i płytek oraz w produkcji półprzewodników.
Komponenty ceramiczne SiC o wysokiej czystości mają kluczowe znaczenie dla procesów zachodzących w półprzewodnikach. Nasza oferta obejmuje części eksploatacyjne do urządzeń do przetwarzania płytek, takich jak łódka z węglika krzemu, łopatki wspornikowe, rury itp. do urządzeń Epitaxy lub MOCVD.
Zalety procesów półprzewodnikowych
Fazy osadzania cienkowarstwowego, takie jak epitaksja lub MOCVD, lub przetwarzanie płytek, takie jak trawienie lub implant jonowy, muszą wytrzymywać wysokie temperatury i ostre czyszczenie chemiczne. Semicorex dostarcza konstrukcję z węglika krzemu (SiC) o wysokiej czystości, która zapewnia doskonałą odporność na ciepło i trwałą odporność chemiczną, a nawet jednorodność termiczną dla stałej grubości i wytrzymałości warstwy epi.
Pokrywy komór →
Pokrywy komór stosowane w hodowli kryształów i przetwarzaniu płytek muszą wytrzymywać wysokie temperatury i ostre czyszczenie chemiczne.
Wiosło wspornikowe →
Łopatka wspornikowa jest kluczowym elementem stosowanym w procesach produkcji półprzewodników, szczególnie w piecach dyfuzyjnych lub piecach LPCVD podczas procesów takich jak dyfuzja i RTP.
Rura procesowa →
Rura procesowa to kluczowy element, specjalnie zaprojektowany do różnych zastosowań w przetwarzaniu półprzewodników, takich jak RTP i dyfuzja.
Łódki waflowe →
Wafer Boat jest używany w przetwarzaniu półprzewodników. Został starannie zaprojektowany, aby zapewnić bezpieczeństwo delikatnych płytek podczas krytycznych etapów produkcji.
Pierścienie wlotowe →
Pierścień wlotowy gazu pokryty SiC przez sprzęt MOCVD. Mieszanka ma wysoką odporność na ciepło i korozję, co zapewnia dużą stabilność w ekstremalnych warunkach.
Pierścień ostrości →
Semicorex dostarcza pierścień ostrości pokryty węglikiem krzemu, który jest naprawdę stabilny w przypadku RTA, RTP lub ostrego czyszczenia chemicznego.
Uchwyt waflowy →
Ultrapłaskie, ceramiczne uchwyty do płytek próżniowych Semicorex są pokryte SiC o wysokiej czystości, stosowanym w procesie obsługi płytek.
Semicorex oferuje również produkty ceramiczne z tlenku glinu (Al2O3), azotku krzemu (Si3N4), azotku glinu (AIN), tlenku cyrkonu (ZrO2), ceramiki kompozytowej itp.
Dyski odchylające gaz pokryte powłoką Semicorex SiC to niezbędne elementy grafitowe stosowane w półprzewodnikowym sprzęcie epitaksjalnym, zaprojektowane specjalnie w celu regulowania przepływu gazu reakcyjnego i zapewniania równomiernej dystrybucji gazu w komorze reakcyjnej. Wybierz Semicorex, wybierz optymalne rozwiązania w zakresie przekierowania gazu, aby uzyskać wysokiej jakości wyniki epitaksjalne płytek.
Czytaj więcejWyślij zapytanieSemicorex SiC Wafer Carrier jest wykonany z ceramiki z węglika krzemu o wysokiej czystości, dzięki technologii druku 3D, co oznacza, że może w krótkim czasie uzyskać bardzo cenne elementy do obróbki. Uważa się, że Semicorex dostarcza naszym klientom na całym świecie kwalifikowane produkty wysokiej jakości.*
Czytaj więcejWyślij zapytaniePierścienie górne pokryte Semicorex CVD SiC to podstawowe elementy w kształcie pierścienia, zaprojektowane specjalnie dla wyrafinowanego sprzętu do trawienia plazmowego. Jako wiodący w branży dostawca komponentów półprzewodnikowych, Semicorex koncentruje się na dostarczaniu wysokiej jakości, trwałych i ultraczystych górnych pierścieni uziemiających pokrytych CVD SiC, aby pomóc naszym cenionym klientom poprawić wydajność operacyjną i ogólną jakość produktu.
Czytaj więcejWyślij zapytanieUszczelnienia Semicorex SiC to wysokowydajne mechaniczne elementy czołowe zaprojektowane tak, aby zapewnić doskonałą odporność na zużycie, stabilność termiczną i uniwersalną obojętność chemiczną w najbardziej wymagających środowiskach urządzeń obrotowych. Semicorex to profesjonalny dostawca materiałów ceramicznych SiC, który może dostarczać produkty o wysokiej precyzji klientom na całym świecie.*
Czytaj więcejWyślij zapytanieSemicorex SiC Pedestal to precyzyjny, wielofunkcyjny komponent sprzętowy zaprojektowany w celu zapewnienia stabilności termicznej i skomplikowanej dystrybucji płynu wymaganej w zaawansowanych systemach reakcji mikrokanałowych. Semicorex specjalizuje się w projektowaniu i dostawie stojaków SiC o wysokiej czystości zgodnie z potrzebami klientów.*
Czytaj więcejWyślij zapytaniePłytki do polerowania płytek Semicorex z tlenku glinu to wysokowydajne elementy polerskie wykonane z ceramiki z tlenku glinu, które zostały zaprojektowane specjalnie do procesu polerowania płytek w przemyśle półprzewodników wysokiej klasy. Wybierając Semicorex, wybieraj produkty charakteryzujące się opłacalną ceną, wyjątkową trwałością i wysoką wydajnością przetwarzania.
Czytaj więcejWyślij zapytanie