Semicorex jest Twoim partnerem w ulepszaniu przetwarzania półprzewodników. Nasze powłoki z węglika krzemu są gęste, odporne na wysoką temperaturę i chemikalia, które są często stosowane w całym cyklu produkcji półprzewodników, w tym w obróbce płytek półprzewodnikowych i płytek oraz w produkcji półprzewodników.
Komponenty ceramiczne SiC o wysokiej czystości mają kluczowe znaczenie dla procesów zachodzących w półprzewodnikach. Nasza oferta obejmuje części eksploatacyjne do urządzeń do przetwarzania płytek, takich jak łódka z węglika krzemu, łopatki wspornikowe, rury itp. do urządzeń Epitaxy lub MOCVD.
Zalety procesów półprzewodnikowych
Fazy osadzania cienkowarstwowego, takie jak epitaksja lub MOCVD, lub przetwarzanie płytek, takie jak trawienie lub implant jonowy, muszą wytrzymywać wysokie temperatury i ostre czyszczenie chemiczne. Semicorex dostarcza konstrukcję z węglika krzemu (SiC) o wysokiej czystości, która zapewnia doskonałą odporność na ciepło i trwałą odporność chemiczną, a nawet jednorodność termiczną dla stałej grubości i wytrzymałości warstwy epi.
Pokrywy komór →
Pokrywy komór stosowane w hodowli kryształów i przetwarzaniu płytek muszą wytrzymywać wysokie temperatury i ostre czyszczenie chemiczne.
Wiosło wspornikowe →
Łopatka wspornikowa jest kluczowym elementem stosowanym w procesach produkcji półprzewodników, szczególnie w piecach dyfuzyjnych lub piecach LPCVD podczas procesów takich jak dyfuzja i RTP.
Rura procesowa →
Rura procesowa to kluczowy element, specjalnie zaprojektowany do różnych zastosowań w przetwarzaniu półprzewodników, takich jak RTP i dyfuzja.
Łódki waflowe →
Wafer Boat jest używany w przetwarzaniu półprzewodników. Został starannie zaprojektowany, aby zapewnić bezpieczeństwo delikatnych płytek podczas krytycznych etapów produkcji.
Pierścienie wlotowe →
Pierścień wlotowy gazu pokryty SiC przez sprzęt MOCVD. Mieszanka ma wysoką odporność na ciepło i korozję, co zapewnia dużą stabilność w ekstremalnych warunkach.
Pierścień ostrości →
Semicorex dostarcza pierścień ostrości pokryty węglikiem krzemu, który jest naprawdę stabilny w przypadku RTA, RTP lub ostrego czyszczenia chemicznego.
Uchwyt waflowy →
Ultrapłaskie, ceramiczne uchwyty do płytek próżniowych Semicorex są pokryte SiC o wysokiej czystości, stosowanym w procesie obsługi płytek.
Semicorex oferuje również produkty ceramiczne z tlenku glinu (Al2O3), azotku krzemu (Si3N4), azotku glinu (AIN), tlenku cyrkonu (ZrO2), ceramiki kompozytowej itp.
Specjalnie zaprojektowane do zastosowań w ekstremalnych temperaturach, prasowane na gorąco tygle azotku boru są niezbędnymi pojemnikami ceramicznymi, służącymi jako doskonałe rozwiązania zarówno w procesach topienia i odparowywania metali, jak i procesach wzrostu kryształów półprzewodników.
Czytaj więcejWyślij zapytanieWyprodukowane z wysokiej jakości materiałów z węglika krzemu, rurki zabezpieczające termopary SIC to zaawansowane rozwiązania ceramiczne stosowane do ochrony termopar przed normalną pracą w wymagających środowiskach o wysokiej temperaturze. Wybierz Semicorex, aby uzyskać precyzyjnie zaprojektowane rurki ochronne do termopar SIC, które zapewniają stałą jakość, opłacalną cenę i maksymalną wydajność chłodzenia.
Czytaj więcejWyślij zapytanieWykonane z wysokowydajnej ceramiki z węglika krzemu, kanały chłodzące z węglika krzemu są wydajnymi elementami rurowymi stosowanymi w procesach chłodzenia w wysokotemperaturowych piecach przemysłowych. Wybierz Semicorex, jeśli szukasz precyzyjnie zaprojektowanych kanałów chłodzących z węglika krzemu, które zapewniają stałą jakość, opłacalną cenę i maksymalną wydajność chłodzenia.
Czytaj więcejWyślij zapytanieHamulec Semicorex Carbon Ceramic jest wykonany z zaawansowanych kompozytów węglowo-ceramicznych, które są zaawansowanym materiałem doskonale sprawdzającym się w środowisku pracy o wysokiej temperaturze. Semicorex dostarcza produkty dostosowane do zastosowań i wymagań klientów.*
Czytaj więcejWyślij zapytaniePłytka trawiąca ICP z węglika krzemu to niezastąpiony uchwyt na płytki wykonany z ceramiki ze spiekanego węglika krzemu o wysokiej czystości. Specjalnie zaprojektowany przez Semicorex, służy jako kluczowy czynnik umożliwiający systemy trawienia i osadzania plazmą indukcyjnie sprzężoną (ICP) w najnowocześniejszym przemyśle półprzewodników.
Czytaj więcejWyślij zapytanieTygle z azotku glinu firmy Semicorex są produkowane z ceramiki AlN klasy półprzewodnikowej, która stanowi wysokowydajne naczynia reakcyjne stosowane w wymagających środowiskach o wysokiej temperaturze. Semicorex oferuje produkcję dostosowaną do wymagań klienta, obsługując zarówno zamówienia na dużą skalę, jak i potrzeby prototypów w małych partiach.
Czytaj więcejWyślij zapytanie