Pierścień ostrości lub pierścienie krawędziowe zaprojektowano w celu poprawy równomierności trawienia wokół krawędzi lub obwodu płytki.
Pierścienie ostrości Semicorex są pokryte węglikiem krzemu przy użyciu chemicznego osadzania z fazy gazowej (CVD), co zapewnia doskonałą odporność na ciepło, równomierną jednorodność termiczną dla stałej grubości i wytrzymałości warstwy epi, a także trwałą odporność chemiczną, które są zbudowane tak, aby wytrzymać ekstremalne warunki w procesie trawienia plazmowego lub trawienia na sucho .
Semicorex SiC Focus Ring to pierścień z węglika krzemu o wysokiej czystości, zaprojektowany w celu optymalizacji dystrybucji plazmy i jednorodności procesu płytek w produkcji półprzewodników. Wybór Semicorex oznacza zapewnienie stałej jakości, zaawansowanej inżynierii materiałowej i niezawodnego działania, któremu zaufały wiodące fabryki półprzewodników na całym świecie.*
Czytaj więcejWyślij zapytanie