Pierścień ostrości lub pierścienie krawędziowe zaprojektowano w celu poprawy równomierności trawienia wokół krawędzi lub obwodu płytki.
Pierścienie ostrości Semicorex są pokryte węglikiem krzemu przy użyciu chemicznego osadzania z fazy gazowej (CVD), co zapewnia doskonałą odporność na ciepło, równomierną jednorodność termiczną dla stałej grubości i wytrzymałości warstwy epi, a także trwałą odporność chemiczną, które są zbudowane tak, aby wytrzymać ekstremalne warunki w procesie trawienia plazmowego lub trawienia na sucho .