Pierścień ostrości lub pierścienie krawędziowe zostały zaprojektowane w celu poprawy jednorodności wytrawiania wokół krawędzi lub obwodu płytki.
Pierścienie ostrości Semicorex są powlekane węglikiem krzemu za pomocą chemicznego osadzania z fazy gazowej (CVD), co zapewnia doskonałą odporność na ciepło, a nawet jednorodność termiczną dla stałej grubości i odporności warstwy epi oraz trwałą odporność chemiczną, które są zbudowane tak, aby wytrzymać ekstremalne warunki w procesie wytrawiania plazmowego lub wytrawiania na sucho .
Trwałe pierścienie ostrości Semicorex do obróbki półprzewodników zostały zaprojektowane tak, aby wytrzymać ekstremalne warunki panujące w komorach do trawienia plazmowego stosowanych w obróbce półprzewodników. Nasze pierścienie ostrości są wykonane z grafitu o wysokiej czystości pokrytego gęstą, odporną na zużycie powłoką z węglika krzemu (SiC). Powłoka SiC ma wysokie właściwości odporności na korozję i ciepło, a także doskonałe przewodnictwo cieplne. SiC nakładamy cienkimi warstwami na grafit za pomocą procesu chemicznego osadzania z fazy gazowej (CVD), aby wydłużyć żywotność naszych pierścieni ostrości.
Czytaj więcejWyślij zapytaniePierścień ostrości do obróbki plazmowej Semicorex został specjalnie zaprojektowany, aby sprostać wysokim wymaganiom obróbki wytrawiania plazmowego w przemyśle półprzewodników. Nasze zaawansowane elementy powlekane węglikiem krzemu o wysokiej czystości są zbudowane tak, aby wytrzymać ekstremalne warunki i nadają się do stosowania w różnych zastosowaniach, w tym w warstwach węglika krzemu i półprzewodnikach epitaksji.
Czytaj więcejWyślij zapytanieZaawansowane pierścienie ostrości SiC Semicorex o wysokiej czystości są zbudowane tak, aby wytrzymać ekstremalne warunki panujące w komorach do wytrawiania plazmowego (lub suchego wytrawiania). Koncentrujemy się na branżach półprzewodników, takich jak warstwy węglika krzemu i półprzewodniki epitaksyjne. Nasze produkty mają dobrą przewagę cenową i obejmują wiele rynków europejskich i amerykańskich. Cieszymy się, że możemy zostać Twoim długoterminowym partnerem w Chinach.
Czytaj więcejWyślij zapytanie