Przewodzące gailery grafitowe

.przewodzony grzejnik powlekanyjest nowym produktem zaprojektowanym do półprzewodników o wysokiej temperaturze i innych próżniowych układów termicznych. Stosuje dobrą stabilność termiczną grafitu o wysokiej czystości i doskonałe charakterystykę powierzchni powłoki węgla krzemu (SIC). Przewodnik powlekany grzałka grafitu jest dodatkowo różnicowana przez swoją warstwę SIC domieszkowaną azotem, która oferuje znacznie poprawę przewodności powierzchniowej, dzięki czemu jest szczególnie odpowiednia do zastosowań, które wymagają kontrolowanych, a nawet ogrzewania z doskonałą wydajnością elektryczną.

Grzeźnik jest zbudowany z podłoża grafitowym o wysokiej wytrzymałości, który działa jako przewodnik strukturalny i termiczny rdzenia. Graphit został wybrany, szczególnie biorąc pod uwagę jego wysoki poziom przewodności cieplnej, niski współczynnik rozszerzania cieplnego i odporność na wstrząs termiczny. Charakterystyka te sprawiają, że grafit odpowiedni materiał podstawowy w zastosowaniach procesów o wysokiej temperaturze, w których mogą występować cykle szybkiego ogrzewania i chłodzenia. Jednak sam nieskazitelny grafit jest chemicznie reaktywny w niektórych atmosfeach i może doświadczać uszkodzenia powierzchni lub degradacji, emisji cząstek lub przeniesienia podczas przedłużonego użytkowania, szczególnie w środowiskach półprzewodników.

Aby przezwyciężyć te ograniczenia, część grafitowa jest pokryta grubą warstwą SIC o dużej czystości. Powłoka SIC służy wielu funkcjom: zapewnia poziom ochrony przed utlenianiem i korozją chemiczną, zapewnia bardzo twardą, odporną na zużycie powierzchnię i zapewnia zgodność ze standardami próżni i pomieszczeń czystych. SIC ma reputację ekstremalnej twardości, wysokiej przewodności cieplnej i bezwładności chemicznej; Z tego powodu jest to doskonały materiał powłoki dla wysokowydajnych elementów termicznych.

Unikalną innowacją tego produktu jest domieszkowanie azotu powłoki SIC. Podczas procesu chemicznego osadzania pary (CVD) atomy azotu są osadzone w sieci SIC, wytwarzając wolne nośniki, które mogą radykalnie zmniejszyć jego rezystywność powierzchniową, a tym samym tworzyć przewodzącą warstwę powierzchniową i umożliwić przepuszczanie prądu, a nie przy użyciu punktu dostępu, poprzez powłokę SIC, w ten sposób umożliwiając komponent całego grafitu działać jako element ogrzewania opornego.

KlasycznyPowłoki sicsą izolacyjne, co naprawdę ogranicza je w zakresie aktywnych zastosowań elektrycznych. I odwrotnie, warstwa SIC domieszkowana przez azot na grzejniku ma wyjątkowo niską oporność powierzchniową, jednocześnie utrzymując wszystkie zalety mechaniczne i chemiczne klasycznego SIC. Warstwa przewodzącego zapewnia bardzo dobrą jednolitość prądu i minimalizuje utratę mocy, jednocześnie poprawiając rozkład cieplny na powierzchni grzejnej. Jest to szczególnie idealne do precyzyjnych zastosowań ogrzewania w warunkach często związanych z reaktorami epitaksjalnymi, pieszkami dyfuzyjnymi i sprzętem szybkiego przetwarzania termicznego (RTP).

Geometria grzejnika, zwykle spiralna lub serpentyna, jak pokazano na obrazie, jest zaprojektowana i zoptymalizowana z zamiarem wytwarzania jednolitej energii wyjściowej termicznej i jednolitego obciążenia elektrycznego. Dzięki zintegrowanej konstrukcji powłoki grafitowej i przewodzącej SIC styki elektryczne można wykonać bezpośrednio na powlekaną powierzchnię, co eliminuje potrzebę dodatkowych elektrod lub połączenia metalowego. Zmniejsza to ryzyko zanieczyszczenia i powoduje prostszy montaż. W konsekwencji ogólna wydajność jest poprawiona.

Kluczowe korzyści z przewodnictwaPokażony SIC grzejnik grafituwłączać:

Doskonałe przewodnictwo elektryczne z powodu domieszkowania azotu, umożliwiające przepływ prądu stałego i wydajne ogrzewanie rezystancyjne.

Najwyższa jednorodność termiczna z precyzyjną kontrolą temperatury na całym powierzchni.

Wysoka odporność chemiczna, szczególnie w środowiskach korozyjnych, takich jak wodór, amoniak lub atmosfery bogate w halogen.

Minimalne wytwarzanie cząstek, spełniające rygorystyczne wymagania czystości produkcji półprzewodnikowej.

Rozszerzona żywotność serwisowa, ze względu na mechaniczną trwałość i odporność na wstrząs termiczny zarówno podstawowego rdzenia, jak i powłoki SIC.

Zastosowania tego grzejnika rozciągają się na wiele zaawansowanych branż technologicznych. Grzeźnik znajdzie miejsce w procesach produkcyjnych półprzewodników, takich jak chemiczne odkładanie pary (CVD), epitaxia wiązki molekularnej (MBE) i wyżarzanie opłat, gdzie krytyczna jest kontrola temperatury i czystość materiałów. Pokrywany SIC grzejnik grafitu może być również stosowany w produkcji fotowoltaicznej, spiekaniu zaawansowanej ceramiki oraz w innych procesach termicznych, w których wymagana jest wyższa wydajność, trwałość i solidne grzejniki.

Podsumowując, przewodzony grzejnik powlekany SIC jest imponującym postępem w opracowywaniu składników termicznych. Stosując powłokę SIC domieszkowaną azotem, opracowaliśmy skuteczny produkt termiczny, który z powodzeniem łączy stabilność chemiczną powłoki SIC z przewodnością elektryczną. Zatem tworzenie procesu termicznego, który jest bardziej wydajny, czystszy i bardziej niezawodny w przypadku najbardziej wymagających zastosowań przemysłowych. Branże półprzewodników i materiałów stoją przed ciągłą zmianą, a materiały hybrydowe tego rodzaju staną się coraz ważniejsze w umożliwieniu przyszłych bardziej zaawansowanych technologii produkcji.

SemiCorex oferuje wysokiej jakościgrzejniki grafitowe z powłokąprodukty. Jeśli masz jakieś zapytania lub potrzebujesz dodatkowych szczegółów, nie wahaj się z nami skontaktować.

Kontakt telefon # +86-13567891907

E -mail: sales@semicorex.com