Komponenty silikonowe do trawienia na sucho

Sprzęt do trawienia na sucho nie wykorzystuje do trawienia mokrych środków chemicznych. Wprowadza przede wszystkim gazowy środek trawiący do komory poprzez górną elektrodę z małymi otworami przelotowymi. Pole elektryczne generowane przez górną i dolną elektrodę jonizuje gazowy środek trawiący, który następnie reaguje z materiałem trawionym na płytce, wytwarzając substancje lotne. Te lotne substancje są następnie ekstrahowane z komory reakcyjnej, co kończy proces trawienia.

Reakcja trawienia na sucho odbywa się w komorze procesowej, która składa się głównie z:elementy silikonowe, w tym silikonowy pierścień wylotowy, silikonowy pierścień zewnętrzny, silikonową głowicę prysznicową, silikonowy pierścień skupiający i silikonowy pierścień ochronny.

W komorze do suchego trawienia płytka krzemowa jest zwykle umieszczana w krzemowym pierścieniu ogniskującym. Ta kombinacja służy jako elektroda dodatnia, umieszczona poniżej komory trawienia. Krążek krzemowy z gęsto upakowanymi maleńkimi otworkami przelotowymi, umieszczony nad komorą, służy jako elektroda ujemna. Zewnętrzny pierścień krzemowy podtrzymuje górną elektrodę i inne powiązane elementy. Elektrody górna i dolna mają bezpośredni kontakt z plazmą. Gdy plazma trawi płytkę krzemową, zużywa również górną i dolną elektrodę krzemową. Dolna elektroda (pierścień ogniskujący) stopniowo staje się cieńsza podczas procesu trawienia i wymaga wymiany, gdy grubość osiągnie określony poziom. Co więcej, równomiernie rozmieszczone otwory w górnej elektrodzie (głowicy prysznicowej) ulegają korozji pod wpływem plazmy, powodując różnice w wielkości otworów. Gdy różnice te osiągną pewien poziom, należy je wymienić. Zazwyczaj wymagany jest cykl wymiany co 2-4 tygodnie stosowania.

W tej sekcji szczegółowo wyjaśniono rolę krzemowego pierścienia ogniskującego (dolnej elektrody). Kontroluje grubość powłoki plazmowej, optymalizując w ten sposób równomierność bombardowania jonowego. Osłona plazmowa, nieneutralny obszar pomiędzy plazmą a ścianą naczynia, jest kluczowym i unikalnym obszarem w plazmie. Plazma składa się z równej liczby jonów dodatnich i elektronów. Ponieważ elektrony przemieszczają się szybciej niż jony, jako pierwsze docierają do ściany naczynia. Plazma jest naładowana dodatnio względem ściany naczynia. Pole elektryczne powłoki przyspiesza jony w plazmie (przyciąganie dodatnio-ujemne), nadając jonom wysoką energię. Ten wysokoenergetyczny strumień jonów umożliwia powlekanie, trawienie i napylanie katodowe.

Impedancja płytki wpływa na grubość powłoki plazmowej (im niższa impedancja, tym grubsza powłoka). Impedancja w środku płytki różni się od impedancji na krawędzi, co powoduje nierówną grubość powłoki plazmowej na krawędzi. Ta nierówna osłona plazmy przyspiesza jony, ale także odchyla punkt bombardowania jonami, zmniejszając dokładność trawienia. Dlatego potrzebny jest pierścień ogniskujący do kontrolowania grubości osłony plazmy, optymalizując w ten sposób kierunek bombardowania jonami i poprawiając dokładność trawienia.

Biorąc za przykład pierścień ostrości wokół płytki, kwarc o wysokiej czystości jest optymalny do osiągnięcia niskiego poziomu zanieczyszczenia metalami, ale szybko koroduje w plazmie fluorkowej, co skutkuje krótką żywotnością. To nie tylko zwiększa koszty, ale także wymaga przestojów ze względu na wymianę, skracając czas sprawności sprzętu. Ceramika, mając wystarczająco długą żywotność, jest narażona na bombardowanie jonami o dużej energii. Napylone aluminium reaguje z fluorem zawartym w plazmie, tworząc nielotne fluorki (takie jak fluorek glinu). Jeśli nie można ich usunąć i osadzić na powierzchni urządzenia lub fotomaski na krawędzi płytki, utrudniają one późniejsze usuwanie wygenerowanych fluorków i fotomaski, wpływając na wydajność produktu. Bardziej odpowiednimi materiałami są monokrystaliczny krzem lub węglik krzemu. Jednakże krzem monokrystaliczny jest niedrogi, ale ma krótką żywotność, podczas gdy węglik krzemu jest droższy, ale ma nieco dłuższą żywotność. Kompromis między tymi dwiema opcjami zależy od konkretnych okoliczności. Na przykład, jeśli wykorzystanie sprzętu jest wysokie, a czas sprawności ma krytyczne znaczenie, należy zastosować węglik krzemu. Jeśli koszty zużycia elementu nie są zbyt wysokie, należy zastosować krzem monokrystaliczny.

Semicorex oferuje wysoką jakośćCzęści silikonowe. Jeśli masz jakiekolwiek pytania lub potrzebujesz dodatkowych szczegółów, nie wahaj się z nami skontaktować.

Numer telefonu kontaktowego +86-13567891907

E-mail: sales@semicorex.com