Obróbka powierzchniowa dla wysokiej klasy uchwytu elektrostatycznego

Theuchwyt elektrostatycznyspełnia wiele funkcji, takich jak równomierne wyładowania elektrostatyczne, przewodzenie ciepła oraz adsorpcja i utrwalanie płytek w dziedzinie produkcji półprzewodników. Jedną z podstawowych funkcji ESC jest stabilna adsorbcja płytek w ekstremalnych warunkach pracy, takich jak wysoka próżnia, silna plazma i szeroki zakres temperatur.

To, co tak naprawdę decyduje o ich działaniu, to nie struktura zewnętrzna ani skład materiału bazowego, ale proces obróbki powierzchni. Bez profesjonalnej obróbki powierzchni podczas eksploatacji napotkane zostaną następujące problemy:

1. Erozja plazmowa i zanieczyszczenie jonami metali

Niezabezpieczone powierzchnie ceramiczne są podatne na erozję plazmową podczas trawienia lub procesu CVD. Ten rodzaj erozji może bezpośrednio skutkować uwolnieniem jonów metali lub oddzieleniem cząstek ceramicznych, powodując w ten sposób zanieczyszczenie płytki.

2. Nierówna przewodność cieplna i deformacja wypaczeń

Szorstkie powierzchnie lub zła obróbka powodują nierówny kontakt płytki z płytkąESC, utrudniając przewodzenie ciepła i wpływając na jednorodność płyty CD.

3. Niestabilna adsorpcja elektrostatyczna

Niedokładna kontrola izolacji powierzchni lub przewodności uchwytu elektrostatycznego może łatwo prowadzić do niewystarczającej lub nadmiernej siły adsorpcji, co ostatecznie bezpośrednio wpływa na wydajność przetwarzania płytek.

Powierzchnia wysokiej klasy ESC często przyjmuje kompozytową konstrukcję wielowarstwową, precyzyjnie regulującą obszary funkcjonalne poprzez powłoki, aby osiągnąć prawdziwą integrację o wysokiej wydajności.

Typowe technologie obróbki powierzchni wysokiej klasy ESC:

1. Nieprzylepne powłoki fluoropolimerowe (takie jak PTFE i PFA)

Ten rodzaj powłoki jest szczególnie odpowiedni do środowisk procesowych o niskiej temperaturze ze względu na niską swobodną energię powierzchniową, która skutecznie zapobiega adsorpcji pozostałości fotomaski.

2. Powłoki diamentopodobne (DLC).

Dzięki wysokiej twardości, odporności na plazmę i niskiemu współczynnikowi tarcia nadają się do zastosowań zapobiegających erozji i oddzielaniu cząstek w urządzeniach do trawienia.

3. Przewodzące folie ceramiczne PVD (takie jak CrSiN i TiN)

Ten rodzaj powłoki może zbudować stabilną ścieżkę przewodzącą w określonym obszarze, a tym samym skutecznie uniknąć problemu lokalnej akumulacji ładunku poprzez precyzyjną kontrolę równomiernego wyładowania ładunków powierzchniowych.

4. Kompozytowe powłoki przewodzące ciepło (takie jak proszek diamentowy i hybrydowa powłoka fluoropolimerowa)

Ten rodzaj powłoki łączy w sobie właściwości nieprzylepne z przewodnością cieplną, a jej ogólne działanie może dokładnie odpowiadać wymaganiom aplikacji precyzyjnej kontroli termicznej ESC.