Jaka jest funkcja pierścieni ostrości?

Pierścienie ostrości są niezbędnymi elementami zapewniającymi jednorodność i stabilność procesów trawienia półprzewodników. Dzięki precyzyjnej kontroli pól elektrycznych i termicznych pierścienie ogniskujące mogą koncentrować plazmę na powierzchni płytki, zapewniając spójne wyniki trawienia we wszystkich miejscach płytki.

Funkcje pierścieni ostrości

1. Popraw jednorodność trawienia

W procesie trawienia pierścienie ostrości mogą koncentrować plazmę na powierzchniopłatekpowierzchni, co skutecznie gwarantuje jednolitą gęstość plazmy, kąt bombardowania jonami i poziomy energii zarówno na krawędzi płytki, jak i w obszarach środkowych. Korygują rozkład pola elektrycznego na krawędzi płytki, zmniejszając szybkość trawienia, wymiary krytyczne i zmiany morfologii spowodowane efektami krawędziowymi, zapewniając w ten sposób spójność trawienia na całej powierzchni płytki. Jeśli pierścień ostrości jest nadmiernie zużyty lub nie ma pierścienia ogniskującego, plazma będzie dyfundować z krawędzi płytki, ostatecznie powodując niezgodne odchylenia w szerokości linii pomiędzy obszarami krawędziowymi i środkowymi.

2. Chroń uchwyt elektrostatyczny

Pierścienie ostrości są zwykle instalowane na zewnątrz powierzchni nośnika płytek w uchwytach elektrostatycznych, bezpośrednio narażonej na bombardowanie plazmą i korozję. Ta konfiguracja rat służy jako fizyczna bariera zapobiegająca kontaktowi plazmy z uchwytami elektrostatycznymi podczas procesu trawienia, co znacznie zmniejsza ryzyko uszkodzenia plazmy. Pierścienie ostrości mogą również zapobiegać przyleganiu produktów ubocznych powstałych podczas procesu trawienia do uchwytów elektrostatycznych, unikając w ten sposób pogorszenia wydajności spowodowanego zanieczyszczeniem i zatykaniem uchwytu. To znacznie wydłuża cykl konserwacji i żywotność uchwytów elektrostatycznych, zmniejszając koszty konserwacji i wymiany sprzętu.

Pierścienie ostrości są zwykle wykonane z materiału o wysokiej czystościkwarc, krzemIwęglik krzemuprzybory. Dzięki swoim doskonałym i wszechstronnym właściwościom materiały z węglika krzemu stopniowo stają się głównym rozwiązaniem w najnowocześniejszych procesach trawienia. Jako zaufany dostawca półprzewodnikowych pierścieni ostrości w Chinach, Semicorex oferuje wysoką jakośćpierścienie ostrości z węglika krzemuo różnych rozmiarach, aby dopasować się do różnych wymagań sprzętu do trawienia. Semicorex jest otwarty na Twoje zapytania i zakupy w każdej chwili.