Powłoka TaC

Ceramika TaC posiada temperaturę topnienia aż 3880°C, wysoką twardość (twardość Mohsa 9-10), dużą przewodność cieplną (22W·m^-1·K⁻¹), dużą wytrzymałość na zginanie (340-400 MPa) i mały współczynnik rozszerzalności cieplnej (6,6×10^-6K-1) i wykazują doskonałą stabilność termochemiczną i doskonałe właściwości fizyczne, dlatego powłoki TaC są szeroko stosowane w ochronie termicznej w przemyśle lotniczym, a grafit i kompozyty C/C mają dobrą kompatybilność chemiczną i mechaniczną. ) i wykazują doskonałą stabilność termochemiczną i doskonałe właściwości fizyczne, a kompozyty grafitowe i C/C mają dobrą kompatybilność chemiczną i kompatybilność mechaniczną, dlatego powłoki TaC są szeroko stosowane w ochronie termicznej w przemyśle lotniczym, wzroście monokryształów, energetyce i elektronice oraz urządzeniach medycznych, itp. Grafit pokryty TaC ma lepszą odporność chemiczną niż grafit goły lub grafit pokryty SiC i może być stosowany stabilnie w wysokiej temperaturze 2600°. Stabilność w wysokiej temperaturze 2600 °, a wiele elementów metalowych nie reaguje, to trzecia generacja scenariuszy wzrostu monokrystalicznego półprzewodników i trawienia płytek w najlepszej wydajności powłoki, może znacznie poprawić proces kontroli temperatury i zanieczyszczeń, przygotowanie wysokiej -jakościowe płytki z węglika krzemu i powiązane płytki epitaksjalne. Jest szczególnie odpowiedni do sprzętu MOCVD do hodowli monokryształów GaN lub AlN oraz sprzętu PVT do hodowli monokryształów SiC, a jakość hodowanych monokryształów ulega znacznej poprawie.

Jak wynika z wyników badań,Powłoka TaC może działać jako warstwa ochronna i izolacyjna, przedłużając żywotność komponentów grafitowych, poprawiając jednorodność temperatury promieniowej, utrzymując stechiometrię sublimacyjną SiC, tłumiąc migrację zanieczyszczeń i zmniejszając zużycie energii. Oczekuje się, że ostatecznie zestaw tygli grafitowych pokrytych TaC poprawi kontrolę procesu SiC PVT i jakość produktu.