O defektach kryształów SiC - Mikropipe

Podłoże SiC może wykazywać mikroskopijne defekty, takie jak przemieszczenie śruby gwintującej (TSD), przemieszczenie krawędzi gwintowanej (TED), przemieszczenie płaszczyzny podstawowej (BPD) i inne. Wady te są spowodowane odchyleniami w rozmieszczeniu atomów na poziomie atomowym. Kryształy SiC mogą również wykazywać dyslokacje makroskopowe, takie jak wtrącenia Si lub C, mikrorurki, sześciokątne puste przestrzenie, polimorfy itp. Dyslokacje te są zazwyczaj duże.

Jednym z głównych problemów w produkcji urządzeń SiC są trójwymiarowe mikrostruktury zwane „mikropurkami” lub „otworami”, które zazwyczaj mają rozmiar odpowiednio 30–40 um i 0,1–5 um. Mikrorurki te mają gęstość 10-10³/cm² i mogą przenikać przez warstwę epitaksjalną, powodując defekty niszczące urządzenie. Są one spowodowane głównie skupieniem się dyslokacji spiro i są uważane za główną przeszkodę w rozwoju urządzeń SiC.

Defekty mikrotubulowe na podłożu są źródłem innych defektów powstających w warstwie epitaksjalnej w procesie wzrostu, takich jak puste przestrzenie, wtrącenia różnych polimorfów, bliźniaki itp. Dlatego najważniejszą rzeczą, o którą należy zadbać podczas procesu wzrostu materiału podłoża dla urządzeń SiC wysokiego napięcia i dużej mocy jest ograniczenie powstawania defektów mikrotubul w kryształach SiC w masie i zapobieganie ich przedostawaniu się do warstwy epitaksjalnej.

Mikrorurę można postrzegać jako małe wgłębienia, a optymalizując warunki procesu możemy „wypełnić wżery”, aby zmniejszyć gęstość mikrorury. Kilka badań w literaturze i danych eksperymentalnych wykazało, że epitaksja przez parowanie, wzrost CVD i epitaksja w fazie ciekłej mogą wypełnić mikrorurę i zmniejszyć powstawanie mikrorurki i dyslokacje.

Semicorex wykorzystuje technikę MOCVD do tworzenia powłok SiC, które skutecznie zmniejszają gęstość mikrorurek, czego efektem są produkty najwyższej jakości. Jeśli masz jakiekolwiek pytania lub potrzebujesz dodatkowych szczegółów, nie wahaj się z nami skontaktować.

Numer telefonu kontaktowego +86-13567891907

E-mail: sales@semicorex.com