Różnice strukturalne pomiędzy różnymi typami reaktorów

W oparciu o konfigurację komory reakcyjnej urządzenia do obróbki cieplnej (urządzenia z rurami piecowymi) dzieli się głównie na trzy kategorie: pionowe rury pieca, poziome rury pieca i piece do szybkiej obróbki termicznej (RTP).

Pionowe rury pieca mają pionowo ułożone rury kwarcowe, z płytkami umieszczonymi wokół rur w celu ogrzewania. Ich głównymi zaletami są równomierny rozkład temperatury, precyzyjna kontrola atmosfery, wysoka automatyzacja, mniej zanieczyszczeń cząstkami stałymi, niewielka powierzchnia i obsługa przetwarzania wsadowego (szczególnie odpowiednie dla 12-calowych płytek), co czyni je obecnie głównym dostępnym sprzętem. Wielkość globalnego rynku osiągnęła 3,2 miliarda dolarów w 2024 roku (dane SEMI). Do ich wad należy łatwe oddzielanie gazu od cieczy oraz przepływ czynnika w dół, co może skutkować wypaleniem rury pieca.

W poziomych rurach pieca znajdują się poziomo umieszczone rurki kwarcowe, przetwarzające jednorazowo 100-200 płytek. Ich zaletą jest równomierny przepływ gazu i cieczy w rurze pieca oraz bardziej precyzyjna kontrola temperatury. Do ich wad należy większa powierzchnia zabudowy i większe zużycie wsporników rur pośrednich ze stali wysokostopowej. Strukturalnie, poziome rury pieca umieszczają wafle pionowo w poziomych rurach w celu przetwarzania.

Piece do szybkiego wyżarzania termicznego (RTP) wykorzystują halogenowe lampy podczerwone do szybkiego podgrzewania pojedynczych płytek, zapewniając szybkie tempo ogrzewania i chłodzenia, które zmieniają jedynie temperaturę płytki bez zmiany temperatury komory. Nadają się do szybkiego wyżarzania w małych partiach, ale nie do produkcji masowej.

Podczas przetwarzania płytek, poziome rury pieca umieszczają płytkę na łódce kwarcowej, która z kolei opiera się na ramie nośnej z węglika krzemu (SiC). Następnie ramę nośną wciska się w rurę pieca kwarcowego, gdzie wafel ulega reakcji w strefie stałej temperatury. Z drugiej strony, pionowe rury pieca umieszczają płytkę na wieży kwarcowej i powoli podnoszą ją do rury pieca kwarcowego w celu obróbki. Po reakcji wafel jest powoli opuszczany, aby zapobiec zgięciu lub pęknięciu.

Semicorex dostarcza wysokiej jakości produkty dostosowane do indywidualnych potrzebreaktor z piecem kwarcowym. Nasze produkty zostały zaprojektowane tak, aby zapewniać doskonałą stabilność termiczną, dłuższą żywotność i wyjątkową spójność procesu. W celu uzyskania niestandardowych rozwiązań lub dodatkowych informacji technicznych, prosimy o kontakt z naszym zespołem inżynierów.

Telefon: +86-13567891907

E-mail: sales@semicorex.com