Metody wzrostu kryształów AlN

AlN, jako materiał półprzewodnikowy trzeciej generacji, jest nie tylko ważnym materiałem emitującym światło niebieskie i ultrafioletowe, ale także ważnym materiałem opakowaniowym, izolacyjnym i izolacyjnym do urządzeń elektronicznych i układów scalonych, szczególnie odpowiednim do urządzeń wysokotemperaturowych i dużej mocy . Ponadto AlN i GaN mają dobre dopasowanie termiczne i kompatybilność chemiczną, AlN stosowany jako podłoże epitaksjalne GaN może znacznie zmniejszyć gęstość defektów w urządzeniach GaN, poprawić wydajność urządzenia.

Ze względu na atrakcyjne perspektywy zastosowań, wytwarzanie wysokiej jakości, wielkogabarytowych kryształów AlN cieszy się dużym zainteresowaniem badaczy w kraju i za granicą. Obecnie kryształy AlN wytwarza się metodą roztworową, bezpośredniego azotowania metalicznego aluminium, epitaksji wodorkowej w fazie gazowej i fizycznego transportu w fazie gazowej (PVT). Wśród nich metoda PVT stała się głównym nurtem technologii hodowli kryształów AlN, charakteryzując się dużą szybkością wzrostu (do 500-1000 μm/h) i wysoką jakością kryształów (gęstość dyslokacji poniżej 103 cm-2).

Wzrost kryształów AlN metodą PVT odbywa się poprzez sublimację, transport w fazie gazowej i rekrystalizację proszku AlN, a temperatura środowiska wzrostu sięga nawet 2 300 ℃. Podstawowa zasada hodowli kryształów AlN metodą PVT jest stosunkowo prosta, co przedstawia poniższe równanie:

2AlN(s) ⥫⥬ 2Al(g) +N2(g)

Główne etapy procesu wzrostu są następujące: (1) sublimacja surowego proszku AlN; (2) transport składników fazy gazowej surowca; (3) adsorpcja składników fazy gazowej na powierzchni wzrostu; (4) dyfuzja powierzchniowa i zarodkowanie; oraz (5) proces desorpcji [10]. Pod normalnym ciśnieniem atmosferycznym kryształy AlN zaczynają powoli rozkładać się na pary Al i azot dopiero w temperaturze około 1 700 ℃, a reakcja rozkładu AlN gwałtownie nasila się, gdy temperatura osiąga 2 200 ℃.

Materiał TaC to prawdziwy tygiel do wzrostu kryształów AlN, o doskonałych właściwościach fizycznych i chemicznych, doskonałej przewodności cieplnej i elektrycznej, odporności na korozję chemiczną i dobrej odporności na szok termiczny, co może skutecznie poprawić wydajność produkcji i żywotność.

Semicorex oferuje wysoką jakośćProdukty do powlekania TaCz niestandardową usługą. Jeśli masz jakiekolwiek pytania lub potrzebujesz dodatkowych szczegółów, nie wahaj się z nami skontaktować.

Numer telefonu kontaktowego +86-13567891907

E-mail: sales@semicorex.com