Znaczenie porowatych materiałów grafitowych dla wzrostu kryształów SiC

Element pieca do wzrostu kryształów SiC firmy Semicorexporowata beczka grafitowa, przyniesie trzy główne korzyści i może skutecznie wzmocnić konkurencyjność krajowąPodłoża SiC:

• Zmniejsz koszty komponentów do wzrostu kryształów SiC;
• Zwiększ grubość kryształu SiC i zmniejsz całkowity koszt podłoża;
• Popraw wydajność kryształów SiC i zwiększ konkurencyjność przedsiębiorstw.

Dodawanie porowatych arkuszy grafitu do pieców do wzrostu kryształów SiC jest jednym z gorących punktów w branży. Udowodniono, że wstawiając aporowaty grafitarkuszy nad proszkiem źródłowym SiC, osiąga się dobry transfer masy w obszarze kryształów, co może rozwiązać różne problemy techniczne występujące w tradycyjnych piecach do wzrostu kryształów.

(a) Tradycyjny piec do wzrostu kryształów, (b) Piec do wzrostu kryształów z porowatą blachą grafitową

Źródło: Uniwersytet Dongui, Korea Południowa

Eksperymenty wykazały, że w przypadku stosowania tradycyjnych pieców do wzrostu kryształów, podłoża SiC zwykle mają różnepolimorfy, taki jak 6H i 15R-SiC, podczas gdyPodłoża SiCprzygotowane wyłącznie przy użyciu pieców do wzrostu kryształów na bazie porowatego grafituMonokryształ 4H-SiC. Co więcej, gęstość mikroprobówek (MPD) i gęstość wgłębień trawiących (EPD) również są znacznie zmniejszone. MPD dwóch pieców do wzrostu kryształów wynosi odpowiednio 6-7EA/cm2 i 1-2EA/cm2, co możnazmniejszona aż 6-krotnie.

Semicorex uruchomił także nowy proces „jednorazowego transferu masy” oparty naporowate arkusze grafitowe. Grafit porowaty ma bardzo dobre właściwościzdolność oczyszczania. Nowy proces wykorzystuje nowe pole termiczne do pierwotnego przenoszenia masy, co sprawia, że ​​wydajność przenoszenia masy jest poprawiona i zasadniczo stała, zmniejszając w ten sposób wpływ rekrystalizacji (unikając wtórnego przenoszenia masy), skutecznie zmniejszając ryzyko mikrotubul lub innych powiązanych defektów kryształu. Ponadto porowaty grafit jest również jedną z podstawowych technologii rozwiązujących problem wzrostu i grubości kryształów SiC, ponieważ może zrównoważyć składniki fazy gazowej, izolować śladowe zanieczyszczenia, regulować lokalną temperaturę i redukować cząstki fizyczne, takie jak owijanie węglem. Zakładając, że kryształ może zostać użyty,grubość kryształumoże być zredukowany. może znacząco wzrosnąć.

Cechy techniczneGrafit porowaty Semicorex:

Porowatość może sięgać nawet 65%;

Pory są równomiernie rozmieszczone;

Wysoka stabilność partii;

Wysoka wytrzymałość, może osiągnąć ultracienki cylindryczny kształt o średnicy ≤1 mm.

Semicorex oferuje wysoką jakośćporowaty grafitCzęści. Jeśli masz jakiekolwiek pytania lub potrzebujesz dodatkowych szczegółów, nie wahaj się z nami skontaktować.

Numer telefonu kontaktowego +86-13567891907

E-mail: sales@semicorex.com