Precyzyjne części ceramiczne są kluczowymi elementami rdzenia sprzętu w kluczowych procesach produkcji półprzewodników, takich jak fotolitografia, trawienie, osadzanie cienki, implantacja jonów, CMP itp., Takie jak łożyska, szyny prowadzące, wkładki, elektrostatyczne ramiona, ramiona obsługi mechani......
Czytaj więcejW procesie front-end (FEOL) produkcji półprzewodników wafel należy poddać różnym zabiegom procesowym, zwłaszcza wafel musi być podgrzewany do określonej temperatury, i istnieją ścisłe wymagania, ponieważ jednolitość temperatury ma bardzo ważny wpływ na wydajność produktu; Jednocześnie sprzęt półprze......
Czytaj więcej