Ramiona robota z tlenku glinu Bernoulliego

Ramiona robotyczne są stosowane głównie w początkowych procesach produkcji półprzewodników, takich jak fotolitografia i trawienie, gdzie bezpośrednio uczestniczą w obsłudze, przenoszeniu i pozycjonowaniu płytek półprzewodnikowych. PółcorexglinkaRamiona robotyczne Bernoulliego to ceramiczne efektory końcowe, które umożliwiają adsorpcję i transfer płytek w oparciu o zasadę Bernoulliego, zapewniając wyjątkową wydajność w zakresie czystości, stabilności, precyzji, wydajności i niezawodności.

Adsorpcja bezkontaktowa

Ramiona robotyczne Semicorex alumina Bernoulli mogą osiągnąć trwałą i stabilną bezkontaktową adsorpcję płytek, wykorzystując specjalnie zaprojektowaną konfigurację i system przepływu powietrza. Ta bezkontaktowa metoda działania pozwala uniknąć bezpośredniego kontaktu z płytkami półprzewodnikowymi i znacznie zapobiega zanieczyszczeniu płytek lub uszkodzeniom spowodowanym kontaktem fizycznym, co jest szczególnie odpowiednie w przypadku ultraczystych warunków pracy i delikatnego przenoszenia płytek.

Niezawodne działanie fizyczne i chemiczne

Ceramika z tlenku glinu charakteryzuje się doskonałą twardością i wytrzymałością, dzięki czemu Semicorex alumina Bernoulliramiona robotadoskonale nadaje się do długotrwałego przenoszenia płytek półprzewodnikowych bez deformacji i uszkodzeń.

Ramiona robotyczne Semicorex alumina Bernoulli zapewniają również niezawodną odporność na korozję chemiczną i wytrzymują trudne warunki pracy, w których występują gazy korozyjne i plazma, wykazując stałą trwałość przez długi okres czasu.

Ścisła kontrola czystości

Ramiona robotyczne Semicorex alumina Bernoulli produkowane są z proszku tlenku glinu o wysokiej czystości poprzez precyzyjne prasowanie izostatyczne i spiekanie w wysokiej temperaturze. Dzięki tej precyzyjnej metodzie doboru i przetwarzania materiału, ramiona robotyczne Semicorex alumina Bernoulli mają czystą i gęstą strukturę ceramiczną. To znacznie zmniejsza ryzyko zanieczyszczenia płytek spowodowanego niepożądanymi zanieczyszczeniami pochodzącymi z warunków pracy.

Doskonała precyzja sterowania

Wykończone precyzyjnym szlifowaniem i polerowaniem, ramiona robotyczne Semicorex alumina Bernoulli zapewniają wyjątkową dokładność wymiarową i doskonałą płaskość powierzchni, co sprawia, że ​​doskonale nadają się do precyzyjnej, zautomatyzowanej produkcji półprzewodników. Ponadto ramiona robotyczne Semicorex alumina Bernoulli charakteryzują się doskonałą stabilnością termiczną, nawet gdy są wystawione na działanie środowiska o dużych wahaniach temperatury, mogą także utrzymywać doskonałe, powtarzalne pozycjonowanie i precyzję obsługi.