Alumina ceramiczna efektor końcowy

Efektor końcowy ceramiczny półkorowej glinu jest niezbędnym narzędziem w automatycznych systemach transferu płytek, oferując niezrównaną wytrzymałość mechaniczną, stabilność termiczną i odporność chemiczną. Wyprodukowane przy użyciu wysokiej czystościAlumina (al₂o₃) ceramika, ten efektor końcowy jest zaprojektowany w celu zaspokojenia rygorystycznych wymagań środowisk przetwarzania opłat, w których precyzja, czystość i trwałość są najważniejsze.

Ramiona robota półprzewodnikowego są jedną z ważnych części sprzętu półprzewodnikowego. Zazwyczaj składają się z kontrolerów, sterowników, ramion i efektorów końcowych. Charakteryzują się wysoką czystością, wysoką stabilnością, wysoką precyzją, wysoką wydajnością i wysoką niezawodnością. Roboty półprzewodnikowe są stosowane głównie w procesie front-end procesu produkcji półprzewodnikowej do przenoszenia, transportu i pozycji waflów półprzewodnikowych.

Struktura ceramiczna posiadająca zawartość tlenku glinu zwykle większa niż 99,5% zapewni doskonałą twardość i odporność na zużycie dla powtarzających się ruchów w bardzo precyzyjnych środowiskach bez degradacji w czasie. Wysoka przewodność cieplna i niskie rozszerzenie tlenku glinu pozwalają na stabilność wymiarową w środowiskach o podwyższonej temperaturze, co jest koniecznością w większości operacji w pomieszczeniu czystym w półprzewodnikach, takich jak narzędzie doltyka, depozyta, kontrola lub czyszczenie.

.Alumina ceramicznaEfektor końcowy ma godne uwagi charakterystyczne wykończenie powierzchniowe, które jest gładkie i ma niską porowatość, dzięki czemu jest blisko zero generowanych cząstek i minimalizację lub zerowy wpływ na zanieczyszczenia podczas obsługi opłat. Dodatkowo tlenek glinu jest chemicznie obojętny. Oznacza to, że nie będzie reagować z żadnym z gazów procesowych i wszelkich płynów procesowych, z którymi wafel ma kontakt. Chroni to opłatę i wszelkie zanieczyszczenie sobie i sprzętu przed wszystkim, co może powodować korozję.

Są one ogólnie stosowane jako efektory końcowe lub mechanizm zacisku, dla ramion robotycznych lub modułów transferowych w sprzęcie i sprzęcie produkcyjnym wafry, takich jak narzędzie wytrawiające lub depostionowe, narzędzie kontroli lub czyszczenia z precyzyjnymi szczelinami, rowkami lub kanałami próżniowymi przechwytującymi rzeczywistą rozmiar wacenia, niezależnie od tego, czy wynosi ona 100 mm, 200 mm, czy 300 mm, oraz transferowe plamy i przechwytywanie. Efektory końcowe zazwyczaj obsługują prędkości transferu opłatek w temperaturze 25 cm/sekundę.

Istnieją opcje dostosowywania wzdłuż linii zaprojektowanych dla określonych interfejsów sprzętu lub rozmiarów płytek. Sztywność strukturalna tlenku glinu pozwala na cienkie i lekkie profile, które minimalizują ogólną masę systemu obsługi i prowadzą do szybszych czasów reakcji. Niektóre konfiguracje mogą również dodawać komponenty przeciwstatyczne lub izolacyjne, aby zapewnić dodatkową ochronę wrażliwych podłoży elektronicznych.

Ogólnie rzecz biorąc, ceramiczny efektor końcowy tlenku glinu zapewnia skuteczne rozwiązanie, które promuje poprawę wydajności i zmniejszonego zanieczyszczenia, gdzie niezawodność operacyjna jest kluczowymi elementami linii przetwarzania opłat. Dzięki jego trwałości i charakterystyce wydajności fizycznej skuteczny i opłacalny ceramiczny efektor glinu glinu wyróżnia się jako popularny wybór wśród producentów sprzętu półprzewodnikowego i FAB, które wymagają rygorystycznych standardów produkcji w środowisku ultra czyszczącym.