Manipulator ceramiczny z tlenku glinu

Manipulator ceramiczny z tlenku glinunazywany jest również widelcem ceramicznym z tlenku glinu i efektorem końcowym do obsługi płytek. Jest on instalowany na robocie obsługującym płytki i stanowi odpowiednik ręki robota. Służy do przenoszenia, transportu i pozycjonowania płytek półprzewodnikowych.Wafle silikonowesą niezwykle podatne na zanieczyszczenia innymi cząsteczkami, dlatego zazwyczaj należy je przenosić w środowisku próżniowym, aby zapewnić czystość. Manipulatory ceramiczne z tlenku glinu wykorzystują ssanie podciśnieniowe do usuwania płytek i transportu płytek półprzewodnikowych za pomocą ruchów teleskopowych, obrotowych i podnoszących ramienia. Wewnątrz ceramicznego manipulatora z tlenku glinu znajdują się otwory powietrzne i rowki wentylacyjne, które mogą wytwarzać próżnię podczas pompowania powietrza, dzięki czemu płytki półprzewodnikowe mogą być adsorbowane przez kontakt świetlny bez ściskania lub uszkadzania płytek półprzewodnikowych.

Wiadomo, że im czystszy składceramika z tlenku glinuoznacza, że ​​tym większa będzie jego siła. Manipulatory ceramiczne Semicorex z tlenku glinu wykonane są z ceramiki z tlenku glinu o wysokiej czystości. Skutkuje to wyjątkową wytrzymałością mechaniczną i twardością. Ich odporność na zużycie znacznie przewyższa odporność stali i stali chromowanej, co pozwala im zachować dokładność powierzchni w miarę upływu czasu w środowiskach o wysokim tarciu, zmniejszając ryzyko zarysowań płytek i czyniąc je idealnymi do zastosowań wymagających dużej precyzji. Ten manipulator ceramiczny z tlenku glinu ma wysoką rezystancję. Jego wyjątkowe właściwości izolacji elektrycznej mogą skutecznie zapobiegać zakłóceniom elektrostatycznym i zmniejszać ryzyko adsorpcji cząstek, aby utrzymać czystą powierzchnię płytki. Co więcej, proces produkcji półprzewodników obejmuje złożone obwody i środowiska o wysokim napięciu w sprzęcie. Manipulator ceramiczny z tlenku glinu o wysokiej rezystancji skutecznie blokuje przewodzenie prądu, zapewniając bezpieczeństwo elektryczne podczas obsługi płytek półprzewodnikowych. Dzięki odporności na wysoką temperaturę i stabilności termicznej ceramiki z tlenku glinu manipulator odkształca się bardzo nieznacznie podczas procesu obróbki cieplnej półprzewodników, może dokładnie pozycjonować płytki i unikać precyzyjnych odchyleń spowodowanych odkształceniami termicznymi. Co więcej, materiał ten ma doskonałą stabilność chemiczną i jest wysoce odporny na korozję powodowaną przez kwasy, zasady, stopione metale itp. Nie jest łatwo reagować z innymi substancjami w celu uwolnienia cząstek zanieczyszczających i może skutecznie chronić części półprzewodnikowe przed zanieczyszczeniem chemicznym.