Płyty bazowe montażu tlenku glinu

Płyty bazowe montażu średniej aluminium to produkty ceramiczne o dużej czystości zaprojektowane jako trwałe i stabilne podstawy do montażu przyczepów roboczych w sprzęcie do produkcji półprzewodnikowej. Płytki te zapewniają krytyczne wsparcie mechaniczne i wyrównanie operacji przetwarzania waflów, takich jak litografia, trawienie, osadzanie i kontrola. Niezbędne jest dokładne dostosowanie pracy z innymi komponentami systemowymi, aby zapewnić, że przetwarzanie płytki może wystąpić z wymaganą wiernością. Płyty są wytwarzane za pomocą technik przetwarzania specyficznych dla ceramiki w celu osiągnięcia niezbędnej płaskości, trwałości w wysokiej temperaturze i długoterminowej niezawodności w celu spełnienia surowych wymagań nowoczesnego produkcji półprzewodników w środowiskach procesowych i czystej.

Płyty bazowe montażu średniej aluminium są wytwarzane z wysokiej czystościglinkaMając poziom czystości ≧ 99,5% (typowy). Alumina o dużej czystości ma dobre właściwości mechaniczne i termiczne, a także twardość. Alumina o wysokiej czystości ma doskonałe nieodłączne właściwości izolacyjne elektryczne, które pozwalają również na stosowanie tych płyt w zastosowaniach próżniowych i wysokiego napięcia, w których zakłócenia elektryczne mogą stanowić problem. Alumina będzie odporna na cykl termiczny, co pozwala płytkom na utrzymanie lepszej dokładności wymiarowej niż większość materiałów i jest korzystny dla utrzymania wyrównania lub stabilności strukturalnej ze względu na zmniejszoną ekspansję cieplną. Ten czynnik jest ważny w zapewnieniu powtarzalności Chucka i niejawnych tolerancji procesowych, jednocześnie działając nad rozszerzonymi cyklami produkcyjnymi.

W systemach przetwarzania półprzewodnikowego płyta podstawowa nie jest po prostu urządzeniem do mechanicznego przymocowania. Jest to środek kontaktu termicznego między Chuckiem a resztą sprzętu i ma kluczowe znaczenie dla rozproszenia termicznego, integralności strukturalnej i izolacji wibracji. Działania przetwarzania, takie jak (ale nie tylko) CVD, PVD lub implantacja jonów, w których wysokie temperatury i ciśnienia próżniowe są powszechne, wymagają, aby podstawa montażowa była odporna termicznie, chemicznie bezwładna i odporna, zdrowa mechanicznie i odporna na wstrząs termiczny. Bez powodu chemicznej jest niezbędna, ponieważ mocowanie musi być kompatybilne z gazami reaktywnymi, a także chemii czyszczenia, przedłużając okres użytkowania mocowania i zapobiegając zanieczyszczeniu.

Każda płyta podstawy montażowej tlenku glinu wytwarzana przez SemiCorex jest obrabiana do tolerancji wymaganych przez producenta na półprzewodnik i integratorów sprzętu. Płytki są obrobione do ciasnych tolerancji grubości, zmienności wysokości i płaskości, aby zapewnić maksymalną stabilność i powtarzalność. Te płytki montażowe można wykonać za pomocą otworów montażowych, szczelin lub liczników do specyfikacji klientów, aby lepiej pomieścić przyczepy robocze, etapy mechaniczne lub inny sprzęt. Ceramika tlenku glinu jest przetwarzana przy użyciu nowoczesnych technik spiekania i precyzyjnego szlifowania w celu optymalizacji jednolitej mikrostruktury i jakości powierzchni, aby zapewnić stały kontakt termiczny i wyrównanie do użytku w czasie.

Płyty bazowe montażu średniej aluminium są stosowane w różnych zastosowaniach, w tym w obsłudze opłat, systemów transferu robotycznego, zespołach próżniowych i stadiach metrologii. Ta niezawodność i trwałość w różnych wymagających sytuacjach procesowych sprawia, że są produktem z wyboru, a producenci narzędzi szukają solidnych, długotrwałych, niskich komponentów ceramicznych. Nasi grupa inżynieryjna współpracuje z klientami, aby zapewnić unikalne rozwiązania określone dla każdej płyty, aby zmaksymalizować wydajność produkcji w półprzewodnikach.

Płytki bazowe montowania tlenku glinu są czymś więcej niż tylko mechanicznym wsparciem; Jest kluczowym elementem inżynierii precyzyjnej w branży półprzewodnikowej. Dzięki doskonałej stabilności mechanicznej, czystości i konfiguracji zapewniają one dokładne wyrównanie, długą żywotność i niezawodne działanie w szerokim zakresie narzędzi procesowych. W przypadku płyt bazowych montażowych o wysokiej wydajności spełnianie wysokich oczekiwań dzisiejszych producentów półprzewodników, Trust Semicorex.