Ramię robota aluminiowego

Ramię robota półkorowego tlenku glinu to wysokowydajna część ceramiczna zaprojektowana do zadań związanych z obsługą i przenoszeniem wafli w produkcji półprzewodnikowej. To robotyczne ramię, wykonane z ceramiki glinu o dużej czystości (Al₂o₃) oferuje elastyczność, precyzję, niezawodność i trwałość w salach czystych.

To, co wyróżnia się na korzyść ramię robota tlenku glinu, to właściwościAlumina ceramicznaznaSiła mechaniczna i twardość. Jakglinkajest bardziej czysty, tleśna utrzymuje lepszą integralność strukturalną i czyni ją bardziej odporną na zużycie mechaniczne i deformację. Jako materiał glinu jest doskonałym wyborem dla robotycznych części, które są używane w delikatnych i powtarzających się zadaniach obsługi opłat, tj. Gdy ramię robota musi wykonać tę samą funkcję i nawiązać kontakt z waflami, że niewielkie zniekształcenie zastosowane do opłatek przez ramię robota mogą kosztować straty z wydajności. Wysoka twardość, tj. Sztywna powierzchnia, może pomóc w oporności ściernej i żywotności funkcjonalnej, tj. Wydłużeniu żywotności i czasu trwania usługi/ wymiany na robotycznym komponencie.

Oprócz trwałości mechanicznej ramię robota tlenku glinu jest również doskonałym izolatorem elektrycznym. Oporność wynosi do 10¹⁵ ω · cm, a wytrzymałość izolacji wynosi do 15 kV/mm w temperaturze pokojowej, zapewniając znacznie bezpieczniejsze środowisko do działania, szczególnie gdy zakłócające sygnały elektryczne musi być zmniejszone w urządzeniach przetwórczych. Staje się to ważne przy ochronie wrażliwych elementów półprzewodników przenoszących między procesami przy minimalnym ryzyku uszkodzenia elektrostatycznego (ESD).

Ceramika tlenku glinu jest doskonała w utrzymywaniu stabilności w bardzo wysokich temperaturach. Temperatura topnienia wynosi około 2050 ° C i wytrzyma wysokie temperatury w półprzewodnikowym przetwarzaniu termicznym bez wypaczania lub dokładności wymiarowej. Wysoka odporność na ciepło pozwala na stosowanie ramienia w procesach takich jak szybkie wyżarzanie termiczne (RTA) lub chemiczne osadzanie pary (CVD), gdzie precyzyjne wyrównanie i stabilność termiczna są krytyczne.

Jedną z pozostałych znaczących korzyści ramię robota tlenku glinu jest jego bezwładność. Jego powierzchnia jest obojętna dla większości środków czyszczących i gazów procesowych stosowanych w produkcji półprzewodników. Dlatego pozostanie bez zanieczyszczenia i nie przyczyni się do zanieczyszczenia powierzchni wafla. Ta bezwładność chemiczna jest kluczem do osiągnięcia ultra czyszczonych warunków produkcyjnych i zapewnienia spójnej wydajności urządzenia.

Alumina ceramicznajest również niedrogim opcją dla narzędzi półprzewodnikowych. Jest łatwo dostępny jako surowiec, a procesy obróbki ceramiki glinu są dobrze zrozumiane i łatwo skalowalne. Umożliwia to powtarzalne i spójne tolerancje dla wysokiej jakości części, które są wytwarzane w konkurencyjnej cenie. Mieszanka wydajności i przystępności cenowej sprawia, że ramię robota aluminiowego są idealne dla Fabs OEM i półprzewodnikowych, w których potrzebujesz niezawodnych komponentów automatyzacji, które nie łamają banku.

Podsumowując, ramię robota tlenku glinu zapewnia wysoką wydajność mechaniczną, wysoką wydajność dielektryczną, wysoką odporność cieplną, wysoka wydajność chemiczna, wszystkie z sprawdzoną produkcją w cenie ekonomicznej. Łącznie te charakterystyki wydajności sprawiają, że jest niezawodny i wydajny w przypadku precyzyjnych aplikacji do obsługi płytki w produkcji półprzewodnikowej, umożliwiając lepszą wydajność, potencjalnie obniżające ryzyko zanieczyszczenia i poprawę ogólnej skuteczności sprzętu.