Płyty polerskie z tlenku glinu

Płytka z tlenku glinu Semicorex płyty polerskieto precyzyjnie obrobione części wykonane z tlenku glinu o wysokiej czystości metodą prasowania izostatycznego, spiekania w wysokiej temperaturze i precyzyjnej obróbki. Idealnie nadają się do zastosowań związanych z precyzyjnym polerowaniem, w przypadku których obowiązują rygorystyczne wymagania dotyczące ultrawysokiej precyzji i wydajności powierzchni, szczególnie do polerowania płytek półprzewodnikowych, ponieważ ceramika z tlenku glinu oferuje wyjątkowe właściwości fizyczne i chemiczne.

---

Długa żywotność zapewniająca doskonałą odporność na zużycie

Wysoka odporność na zużycie jest niezbędna w przypadku płyt polerskich waflowych stosowanych w obróbce precyzyjnej. Twardość ceramiki z tlenku glinu w skali Mohsa wynosi około 9 i ustępuje jedynie diamentowi i węglikowi krzemu, co pozwala płytom polerskim waflowym wytrzymywać warunki pracy przy dużych prędkościach i dużym tarciu podczas polerowania płytek półprzewodnikowych przy niskich stratach na skutek zużycia. Dzięki tej doskonałej odporności na zużycie płytki polerskie z wafla tlenku glinu charakteryzują się długą żywotnością, znacznie obniżając częstotliwość przestojów sprzętu w celu wymiany oraz zmniejszając koszty konserwacji i wymiany.

Wyjątkowa stabilność termiczna i odporność na wysoką temperaturę

Glinkapłytki do polerowania płytek mogą zachować swoje właściwości fizyczne i parametry tarcia w środowiskach o wysokiej temperaturze 1000 ℃ ze względu na ich wyjątkową stabilność termiczną i odporność na wysoką temperaturę. Nadają się do pracy w wysokich temperaturach spowodowanych częstym tarciem, skutecznie unikając odkształceń termicznych i przyczyniając się do utrzymania stałej powierzchni polerowania.

Niezawodna odporność na korozję chemiczną

Płyty polerskie z tlenku glinu charakteryzują się niezawodną odpornością na korozję chemiczną. Są odporne na większość kwasów i zasad, a także na powszechnie stosowane roztwory do polerowania chemicznego stosowane w procesie CMP. Ich płaskość powierzchni nie zostanie naruszona przez korozję chemiczną, co wpływa na jakość powierzchni płytek półprzewodnikowych.

---

Zastosowania płytek polerskich Semicorex Glinka

1. Polerowanie płytek półprzewodnikowych

Płyty do polerowania płytek z tlenku glinu są szeroko stosowane w szlifowaniu, polerowaniu zgrubnym i polerowaniu wykończeniowym krzemu, SiC, szafiru i różnych podłoży waflowych. Dzięki wyjątkowo niskiej chropowatości i płaskości powierzchni w skali nano płytki polerskie z tlenku glinu idealnie spełniają rygorystyczne wymagania dotyczące jakości powierzchni w zaawansowanych procesach półprzewodników, takich jak trawienie i litografia.

2. Przerzedzanie płytek i polerowanie krawędzi

Podczas procesu przerzedzania płytek można zastosować płytki do polerowania płytek z tlenku glinu, aby precyzyjnie kontrolować grubość płytki i równomiernie usuwać materiały znajdujące się na tylnej powierzchni. W procesie polerowania krawędzi płytki polerskie z tlenku glinu mogą również pomóc w osiągnięciu optymalnej jakości krawędzi płytki, eliminując zadziory i defekty na krawędziach płytki.