Taca podtrzymująca tygiel

W produkcji półprzewodników w wysokiej temperaturze stabilność i precyzja mają kluczowe znaczenie dla zapewnienia stałej jakości kryształów. Podstawka pod tygiel Semicorex odgrywa istotną, choć często pomijaną rolę w utrzymaniu integralności procesu wzrostu kryształów, zapewniając niezawodne podłoże w ekstremalnych warunkach termicznych i mechanicznych.

Taca podtrzymująca tygiel, znana również jakowęgiel/węgiel (C/C)uchwyt tygla, został specjalnie zaprojektowany do podtrzymywania tygli kwarcowych lub grafitowych podczas wzrostu monokrystalicznego krzemu. Umieszczony u podstawy pola termicznego element ten musi wytrzymywać długotrwałe narażenie na wysokie temperatury, zachowując jednocześnie integralność strukturalną i stabilność wymiarową. Jego solidna konstrukcja zapewnia, że ​​tygiel pozostaje bezpiecznie ustawiony przez cały proces, minimalizując wibracje, deformacje lub niewspółosiowość, które mogłyby negatywnie wpłynąć na jakość kryształu.

Rola tacy wspierającej C/C

Podczas wzrostu krzemu monokrystalicznego temperatury często przekraczają 1400°C. Tradycyjne materiały grafitowe, choć przydatne, często stają w obliczu wyzwań związanych z żywotnością i odkształceniami pod dużym ciężarem stopionego krzemu. Nasza podstawka pod tygiel kompozytowy C/C rozwiązuje te problemy.

Dzięki zastosowaniu matrycy wzmocnionej włóknem węglowym o wysokiej wytrzymałości, taca oferuje „prawie zerowy” profil rozszerzalności cieplnej i wyjątkową nośność. Służy jako interfejs między tyglem a wałem obrotowym, utrzymując idealnie płaską płaszczyznę, aby zapobiec turbulencjom stopu i defektom kryształów.

Dane techniczne i doskonałość materiałów

Gęstość: ≥ 1,3 g/cm3

Wytrzymałość na zginanie: ≥ 110 MPa

Współczynnik rozszerzalności cieplnej (CTE): ≤ 1,0 × 10⁻⁶ /K

Wytrzymałość na ściskanie: ≥ 160 MPa