Pierścienie pokryte CVD TAC

Pierścienie powlekane TAC SemiCorex CVD są komponentami z inżynierami precyzyjnymi zaprojektowanymi specjalnie dla procesu wzrostu kryształów, szczególnie w systemach zestalania kierunkowego i ciągnięcia Czochralskiego (CZ). Te pierścienie powlekane CVD TAC działają jako elementy przewodnika przepływu - kompleksowo określane jako „pierścienie przewodników przepływu” lub „pierścienie ugięcia gazu” - i odgrywają kluczową rolę w utrzymywaniu stabilnych wzorców przepływu gazu i środowisk termicznych podczas fazy wzrostu kryształu.

Przykładając wzrost wafla węgla krzemu, materiały grafitowe i materiały kompozytowe węglowe w materiałach pola termicznego są trudne do spełnienia złożonego procesu atmosfery (SI, SIC₂, SI₂C) przy 2300 ℃. Żywotność serwisowa jest nie tylko krótka, różne części są zastępowane każde do dziesięciu pieców, a dializa i ulatnianie grafitu w wysokich temperaturach mogą z łatwością prowadzić do wad kryształowych, takich jak wtrącenia węgla. W celu zapewnienia wysokiej jakości i stabilnego wzrostu kryształów półprzewodnikowych oraz biorąc pod uwagę koszt produkcji przemysłowej, na powierzchni części grafitowych, które rozszerzy żywotność elementów grafitowych, hamuje migrację nieszczerości i poprawiają temperaturę. W epitaksjalnym wzroście węgliku krzemu krzemowe podatniki grafitowe powlekane z węglika z węglika krzemu są zwykle stosowane do przenoszenia i podgrzewania pojedynczych kryształów. Ich żywotność serwisowa wciąż musi zostać ulepszona, a depozyty z węglików krzemu na interfejsie należy regularnie czyszczyć. Natomiast,Powłoki do węglików do tantalu (TAC)są bardziej odporne na korozyjną atmosferę i wysokie temperatury i są podstawową technologią dla takich kryształów SIC, aby „rosnąć, rosnąć i dobrze rosnąć”.

TAC ma temperaturę topnienia do 3880 ℃ i ma wysoką wytrzymałość mechaniczną, twardość i odporność na wstrząsy termiczne; Ma dobrą chemiczną bezwładność i stabilność termiczną do amoniaku, wodoru i pary zawierającej krzem w wysokich temperaturach. Materiały grafitowe (kompozyt węglowy) pokryte powłokami TAC bardzo prawdopodobne jest, że zastąpią tradycyjny grafit o wysokiej czystości, powłoki PBN, części powlekane SIC itp. Ponadto, w dziedzinie lotniczej, TAC ma duży potencjał do zastosowania jako przeciwutleniający i przeciwprzestlenia o wysokiej temperaturze, i ma szerokie możliwości zastosowania. Jednak wciąż istnieje wiele wyzwań, aby osiągnąć przygotowanie gęstych, jednolitych i niebakujących powłok TAC na powierzchni grafitu i promowania produkcji masowej. W tym procesie badanie mechanizmu ochrony powłoki, innowacje w procesie produkcyjnym i konkurencja z najwyższym poziomem zagranicznym ma kluczowe znaczenie dla wzrostu kryształu i epitaksji kryształów trzeciej generacji.

Proces SIC PVT przy użyciu zestawu konwencjonalnego grafitu iCVD TAC powlekaneModelowano pierścienie, aby zrozumieć wpływ emisyjności na rozkład temperatury, co może prowadzić do zmian szybkości wzrostu i kształtu wlewków. Wykazano, że pierścienie pokryte CVD TAC osiągną bardziej jednolite temperatury w porównaniu z istniejącym grafitem. Ponadto doskonała stabilność termiczna i chemiczna powłoki TAC zapobiega reakcji węgla z parą SI. W rezultacie powłoka TAC sprawia, że rozkład C/Si w kierunku promieniowym jest bardziej jednolity.