Uchwyt elektrostatyczny

Wykorzystując ceramikę z tlenku glinu o wysokiej czystości, uchwyt elektrostatyczny Semicorex zapewnia najwyższą wydajność w ustawieniach, w których priorytetem jest precyzja, stabilność i czystość. Tlenek glinu, znany również jako tlenek glinu (Al2O3), to materiał ceramiczny znany ze swoich wyjątkowych właściwości izolacji elektrycznej, wysokiej przewodności cieplnej i wyjątkowej wytrzymałości mechanicznej. Te właściwości sprawiają, że jest to idealny materiał do budowy uchwytów elektrostatycznych, zaprojektowanych tak, aby wytrzymywały wymagające warunki obróbki półprzewodników. Ceramikę ESC z tlenku glinu zaprojektowano tak, aby wytrzymywała wysokie temperatury, środowiska korozyjne i naprężenia mechaniczne podczas obsługi i przetwarzania płytek, odgrywając kluczową rolę w zapewnianiu wydajności i jakości urządzeń półprzewodnikowych.

Podstawową zasadą uchwytu elektrostatycznego jest siła elektrostatyczna używana do bezpiecznego utrzymywania płytki na miejscu. Siła ta jest generowana poprzez przyłożenie napięcia do elektrod osadzonych w materiale ceramicznym. Interakcja między polem elektrostatycznym a ładunkami indukowanymi na powierzchni płytki powoduje powstanie dużej siły zaciskającej, która utrzymuje płytkę na powierzchni uchwytu. Konstrukcja ceramiki z tlenku glinu ESC zapewnia równomierne rozłożenie siły docisku na płytce, minimalizując ryzyko poślizgu lub uszkodzenia podczas obróbki.

Jedną z kluczowych zalet stosowania ceramiki z tlenku glinu w konstrukcji uchwytu elektrostatycznego są jego wyjątkowe właściwości elektroizolacyjne. Wysoka wytrzymałość dielektryczna tlenku glinu pozwala na zastosowanie wysokich napięć bez ryzyka przebicia elektrycznego, co jest kluczowe dla utrzymania integralności pola elektrostatycznego. Jest to szczególnie ważne w procesach takich jak trawienie plazmowe lub chemiczne osadzanie z fazy gazowej, gdzie płytka jest narażona na działanie wysoce reaktywnych środowisk i jakakolwiek zmiana siły zaciskania może skutkować defektami lub uszkodzeniem płytki.

Oprócz swoich właściwości elektrycznych, ceramika z tlenku glinu wykazuje doskonałą przewodność cieplną, niezbędną do zarządzania ciepłem wytwarzanym podczas obróbki półprzewodników. Zdolność uchwytu elektrostatycznego do skutecznego rozpraszania ciepła pomaga utrzymać stabilną temperaturę na płytce, zmniejszając gradienty termiczne, które mogą prowadzić do wypaczeń lub innych form naprężeń termicznych. Ta stabilność termiczna ma kluczowe znaczenie dla zapewnienia precyzji i powtarzalności procesów takich jak fotolitografia, gdzie nawet niewielkie odchylenia temperatury mogą mieć wpływ na wynik.