Cokół z topionego kwarcu

W produkcji półprzewodników cokół z topionego kwarcu służy jako konstrukcja wsporcza dla łodzi kwarcowej, w której znajdują się płytki. Utrzymując stałą temperaturę, pomaga uzyskać równomierne osadzanie cienkowarstwowe, co jest krytycznym czynnikiem wpływającym na wydajność i niezawodność urządzeń półprzewodnikowych. Cokół zapewnia równomierny rozkład ciepła i światła w komorze procesowej, poprawiając w ten sposób ogólną jakość procesu osadzania.

Zalety stopionego materiału kwarcowego

1. Odporność na wysoką temperaturę

Cokół z topionego kwarcu ma temperaturę mięknienia około 1730°C, co pozwala mu wytrzymać długotrwałe użytkowanie w temperaturach w zakresie od 1100°C do 1250°C. Co więcej, wytrzymuje krótkotrwałe działanie temperatur sięgających nawet 1450°C.

2. Odporność na korozję

Cokół z topionego kwarcu jest chemicznie obojętny na większość kwasów, z wyjątkiem kwasu fluorowodorowego. Jego odporność na kwasy przewyższa odporność ceramiki 30 razy i stali nierdzewnej 150 razy. W podwyższonych temperaturach żaden inny materiał nie jest w stanie dorównać stabilności chemicznej topionego kwarcu, co czyni go idealnym wyborem do stosowania w trudnych warunkach chemicznych.

3. Stabilność termiczna

Jedną z wyróżniających się cech cokołu z topionego kwarcu jest jego minimalny współczynnik rozszerzalności cieplnej. Ta właściwość pozwala mu wytrzymać duże zmiany temperatury bez pękania. Można go na przykład szybko podgrzać do 1100°C, a następnie zanurzyć w wodzie o temperaturze pokojowej bez ryzyka uszkodzenia – jest to istotna cecha w procesach produkcyjnych charakteryzujących się dużym obciążeniem.

Proces produkcyjny

Proces produkcji cokołu z topionego kwarcu jest skrupulatnie kontrolowany w celu zapewnienia najwyższych standardów jakości. Cokoły produkowane są w procesach termoformowania i spawania prowadzonych w pomieszczeniach czystych klasy 10 000 lub wyższej. Późniejsze czyszczenie ultraczystą wodą (18 MΩ)dodatkowo zapewnia czystość i wydajność produktu. Każdy cokół z topionego kwarcu poddawany jest rygorystycznej kontroli, czyszczeniu i pakowaniu w pomieszczeniu czystym klasy 1000 lub wyższej, aby spełnić rygorystyczne wymagania dotyczące produkcji półprzewodników.

Nieprzezroczysty materiał kwarcowy o wysokiej czystości

Aby skutecznie blokować ciepło i światło, cokół Fused Quartz wykorzystuje nieprzezroczysty materiał kwarcowy o wysokiej czystości. Unikalne właściwości tego materiału zwiększają zdolność stojaka do utrzymywania stabilnej i jednolitej temperatury w komorze procesowej, zapewniając w ten sposób stałą jakość osadzania cienkowarstwowego na płytkach.

Szeroki zakres zastosowań

Wyjątkowe właściwości cokołu z topionego kwarcu sprawiają, że nadaje się on do różnorodnych zastosowań w przemyśle półprzewodników. W procesach ALD wspomaga precyzyjną kontrolę wzrostu cienkiej warstwy na poziomie atomowym, niezbędną do produkcji zaawansowanych urządzeń półprzewodnikowych. Podczas procesów LPCVD stabilność termiczna podstawy i zdolność blokowania światła przyczyniają się do równomiernego osadzania folii, poprawiając wydajność i wydajność urządzenia.

W procesach dyfuzyjnych odporność na wysoką temperaturę i obojętność chemiczna stopionego kwarcu zapewniają niezawodne i spójne domieszkowanie materiałów półprzewodnikowych. Procesy te mają kluczowe znaczenie dla określenia właściwości elektrycznych urządzeń półprzewodnikowych, a zastosowanie wysokiej jakości materiałów, takich jak topiony kwarc, jest niezbędne do osiągnięcia optymalnych wyników.