Sztywny filc powlekany włóknem węglowym, charakterystyczny produkt firmy Semicorex, składa się ze sztywnego filcowego podłoża z włókna węglowego otoczonego szklaną powłoką węglową, łączącą wrodzoną wytrzymałość filcu z wyjątkowymi właściwościami powierzchniowymi szkła węglowego . Razem tworzą materiał, który wyróżnia się zachowaniem w ekstremalnych warunkach.**
Jedną z głównych zalet sztywnego filcu powlekanego węglem jest jego wyjątkowa odporność termiczna. Szklista powłoka węglowa umożliwia materiałowi wytrzymywanie temperatur do 2000°C w obojętnej atmosferze, dzięki czemu idealnie nadaje się do wysokotemperaturowych procesów półprzewodnikowych. Zdolność tę uzupełnia niska rozszerzalność cieplna powłoki i wysoka odporność na szok termiczny, które chronią sztywne podłoże filcowe z włókna węglowego przed uszkodzeniem podczas szybkich wahań temperatury. Właściwości te mają kluczowe znaczenie w produkcji półprzewodników, gdzie spójne zarządzanie temperaturą jest niezbędne do utrzymania integralności wrażliwych komponentów.
Szklista powłoka węglowa zapewnia również niezwykłą odporność chemiczną i korozyjną sztywnemu filcowi z włókna węglowego. Odporność ta gwarantuje, że materiał pozostaje stabilny i skuteczny w środowiskach charakteryzujących się narażeniem na agresywne chemikalia i czynniki korozyjne. Nieprzepuszczalność powłoki dla gazów i cieczy dodatkowo zabezpiecza podłoże, zapobiegając infiltracji, która w przeciwnym razie mogłaby pogorszyć jego właściwości. Ta cecha sprawia, że sztywny filc powlekany węglem jest szczególnie cenny w produkcji półprzewodników, gdzie powszechne jest narażenie na ostre procesy chemiczne.
Wysoka czystość to kolejna kluczowa korzyść oferowana przez szklaną powłokę węglową. Przy osiągalnym poziomie czystości sięgającym 99,99999%, powłoka minimalizuje wytwarzanie cząstek, co jest istotnym czynnikiem w środowiskach czystych półprzewodników. Zmniejszona emisja cząstek pomaga zapobiegać zanieczyszczeniom, zwiększając w ten sposób niezawodność i wydajność urządzeń półprzewodnikowych. Ta czystość w połączeniu z izotropową strukturą materiału, która zapewnia jednolite właściwości we wszystkich kierunkach, przyczynia się do stałej wydajności szklanopodobnego sztywnego filcu powlekanego węglem w szeregu zastosowań.
Przewodność elektryczna i cieplna przypominającej szkło powłoki węglowej dodatkowo zwiększa wszechstronność sztywnego filcu. Te właściwości przewodzące umożliwiają efektywne zarządzanie ciepłem i prądem elektrycznym, wspierając zastosowania takie jak grzejniki i inny sprzęt do obróbki cieplnej. Ułatwiając efektywne parametry termiczne i elektryczne, sztywny filc powlekany węglem podobnym do szkła staje się niezastąpionym elementem w złożonych układach półprzewodnikowych, gdzie precyzja jest najważniejsza.
W przemyśle półprzewodników zastosowania sztywnego filcu powlekanego węglem szklanym są szerokie i zróżnicowane. Jest to idealny materiał na komponenty narzędzi do trawienia plazmowego i chemicznego osadzania z fazy gazowej (CVD), gdzie krytyczna jest jego odporność chemiczna i właściwości termiczne. Dodatkowo materiał służy jako skuteczny cel do rozpylania i uchwyt próbki do sprzętu analitycznego, gdzie jego wysoka czystość i stabilność zapewniają dokładne wyniki. Ta wszechstronność rozciąga się na jego zastosowanie w przyrządach do procesów produkcji szkła, wykorzystując jego odporność na ciepło i nieprzepuszczalność w celu optymalizacji wydajności w kształtowaniu i formowaniu materiałów szklanych.
Poza dziedziną półprzewodników zalety powłoki węglowej przypominającej szkło mają wpływ na inne zaawansowane technologicznie zastosowania. Jego odporność cieplna i obojętność chemiczna sprawiają, że nadaje się do stosowania w grzejnikach i sprzęcie do analizy termicznej, gdzie wymagana jest precyzyjna kontrola temperatury i interakcji chemicznych. Zdolność materiału do utrzymania wydajności w ekstremalnych warunkach gwarantuje, że pozostaje on niezawodnym komponentem w szerokim zakresie wymagających zastosowań przemysłowych.
Obraz SEM porowatego węgla podobnego do szkła