Grafitowe tyłki

Krzyże grafitowe półkologiczne są kluczowymi elementami w procesie produkcji półprzewodników, szczególnie na etapie wzrostu kryształów. Te wysokowydajne pojemniki są zaprojektowane w celu wytrzymania ekstremalnych warunków wymaganych do wytworzenia silikonu lub złożonego półprzewodnikowego kryształów za pomocą metod takich jak proces Czochralski (CZ) lub technika strefy zmiennoprzecinkowej (FZ).

Główną funkcją grafitowych krzyżowców jest wytrzymanie i wspieranie wyjątkowo wysokich temperatur, zwykle powyżej 2000 ° C, w których często syntetyzują materiały półprzewodników trzeciej generacji, takie jak węglik krzemu i azotek galu. Krucyty wykonane z grafitu o dużej czystości wykazują doskonałą odporność na wysokie temperatury utrzymujące ich stany fizyczne i chemiczne na tak ekstremalnych poziomach bez żadnej formy rozkładu, a nawet metamorfozy. Dobre przewodnictwo termiczne przez grafitowe orki oznacza, że nie tylko przeprowadzają ciepło jednolicie, ale także ustawiają stabilne pole temperaturowe. Wchodzi to zasadniczo podczas procesów topnienia i krystalizacji, ponieważ jednolity rozkład temperatury pozwoli materiałowi wzrostu w mniej lub bardziej równoważnych warunkach, zmniejszając w ten sposób wady kryształów i umożliwiając wysokiej jakości kryształy półprzewodników.

W procesach wzrostu kryształów azotku krzemowego lub azotku galu (takie jak Epitaxy CVD lub fizyczny transport pary PVT), grafitowe krzyżowanie są wykorzystywane do przechowywania surowców i zapewnienia kontrolowanego środowiska wzrostu. Chemiczna bezwładność tygla zapewnia, że nie reaguje on chemicznie z materiałem półprzewodnikowym w wysokich temperaturach, utrzymując w ten sposób wysoką czystość materiału. Jednocześnie dobra przewodność cieplna tygla grafitowego pomaga utworzyć jednolity gradient temperatury, zapewniając idealne warunki wzrostu kryształów i zmniejszając zanieczyszczenia i wady strukturalne.

Chemiczna bezwładność grafitowych tygli jest kluczową cechą w oczyszczaniu materiałów półprzewodnikowych. Jego materiał grafitowy o wysokiej czystości może izolować zewnętrzne zanieczyszczenie i uniemożliwić zanieczyszczenia przed wejściem do stopionego materiału półprzewodnikowego. Powierzchnię tygla grafitowego można również powlekać (takie jak powłoka z węglików krzemowych), aby zwiększyć jego odporność na utlenianie i odporność na korozję, dodatkowo zapewniając wysoką czystość i wysoką stabilność procesu produkcyjnego.