Elektroda grafitowa

Elektroda grafitowa Semicorex to wysokiej czystości, precyzyjnie wyprodukowany element grafitowy do stosowania w zastosowaniach termicznych półprzewodników, gdzie najważniejsza jest przewodność elektryczna, stabilność termiczna i dokładność wymiarowa. Faktycznie tego typu elektrody stosowane są w piecach wysokotemperaturowych, reaktorach epitaksji i komorach obróbki cieplnej, ułatwiając stabilne przewodzenie prądu, przenoszenie ciepła oraz stabilność w agresywnych warunkach temperatury i atmosfery. Ze względu na wyjątkową czystość, jednorodność stałej struktury i wysokie właściwości mechaniczne elektrod grafitowych Semicorex, mogą one zapewnić niezawodne działanie termiczne jako elementy grzejne w wymagających zastosowaniach półprzewodnikowych

Elektroda grafitowa produkowana jest z wysokiej jakości drobnoziarnistego materiału grafitowego, każdy z nich powstaje w oparciu o zaawansowaną sekwencję wytłaczania, karbonizacji w wysokiej temperaturze i grafityzacji. Mikrostruktura grafitu została zaprojektowana z myślą o w przybliżeniu stałej oporności elektrycznej, wysokiej przewodności cieplnej i stabilności mechanicznej. Produktem końcowym jest przewodnik ciepła o wysokiej czystości, który utrzymuje stan fizyczny i równomierny rozkład prądu w środowiskach o dużej mocy, a także szybkich wahaniach temperatury.

Ultra wydajność w naszymgrafit

Nasz grafit gwarantuje doskonałą jednolitość wydajności. Po pierwsze, podczas procesu karbonizacji nasze piece mają zaledwie 115 metrów sześciennych. Nasz zespół techniczny monitoruje pole temperatur produktów grafitowych w różnych obszarach każdego pieca. W początkowej fazie niskotemperaturowej (0-200°C) kontrolujemy temperaturę w zakresie ±10°C, a w wysokich temperaturach (powyżej 600°C) w granicach ±1°C. Monitorujemy nie tylko pole temperatur pomiędzy różnymi cząsteczkami grafitu, ale także temperaturę powierzchniową i wewnętrzną każdego pojedynczego kawałka grafitu, kontrolując ją w zakresie ±3°C. Monitorujemy 8 punktów temperaturowych w każdym piecu do karbonizacji.

Po drugie, podczas procesu grafityzacji, biorąc za przykład wsad 500 kg, monitorujemy także 8 punktów temperaturowych. Po grafityzacji losowo pobieramy próbki i testujemy destrukcyjnie 24 punkty wzdłuż osi X, Y i Z, aby zapewnić jednorodność. Większość firm w branży testuje tylko oś X lub co najwyżej oś XY, przy czym typowi producenci testują tylko 6-8 punktów, a lepsi 12 punktów. Testujemy 24 punkty.

W polu termicznym półprzewodników elektroda grafitowa jest kluczową częścią zespołu grzejnego, kierując prąd elektryczny do strefy grzewczej i umożliwiając kontrolowany rozkład temperatury w określonym procesie, takim jak utlenianie, dyfuzja, LPCVD lub epitaksja. Elektroda grafitowa musi niezawodnie spełniać swoją rolę operacyjną w temperaturach przekraczających 2000°C, a jednocześnie być odporna na utlenianie, wypaczanie lub zanieczyszczenie miejsca ogrzewania.

Elektrody grafitowe Semicorex charakteryzują się wyjątkową przewodnością elektryczną, co ułatwia efektywne dostarczanie mocy przy minimalnych stratach, a także posiadają doskonałą przewodność cieplną, umożliwiającą szybki i równomierny transfer ciepła w piecu. Połączenie niskiej rozszerzalności cieplnej i wysokiej wytrzymałości mechanicznej zmniejsza odkształcenia i pękanie podczas cykli termicznych, zapewniając stabilne zachowanie przez długi okres użytkowania. Każda elektroda jest obrabiana maszynowo z zachowaniem rygorystycznych tolerancji wymiarowych i dokładnego wykończenia powierzchni, aby zapewnić stały kontakt i znikomy opór elektryczny na powierzchni styku.

Mając na uwadze specyficzne wymagania procesów półprzewodnikowych, Semicorex może zaprojektować niestandardowe projekty elektrod, aby pasowały do ​​dowolnej konfiguracji pieca i specyfikacji mocy. Można udostępnić różne średnice, długości, rodzaje przyłączy lub wykończenia powierzchni. W razie potrzeby można zastosować materiały powłokowe, takie jak SiC lub węgiel pirolityczny, aby zwiększyć odporność na utlenianie i zwiększyć trwałość użytkową w środowiskach o wysokiej zawartości tlenu lub gazów reaktywnych.

Wysoka czystośćmateriał grafitowysłuży zapewnieniu niewiarygodnie niskiego poziomu zanieczyszczeń metalicznych (i zanieczyszczeń gazowych), często przekraczającego 99,999% węgla. Tak niski poziom zanieczyszczeń pomaga uniknąć zanieczyszczenia płytek półprzewodnikowych podczas obróbki termicznej. W połączeniu ze znaczną głębokością obróbki i polerowanym wykończeniem powierzchni, elektrody grafitowe Semicorex spełniają zarówno stabilność mechaniczną, jak i chemiczną najnowocześniejszych technologii wytwarzania płytek.

Niezależnie od tego, czy są stosowane w piecach dyfuzyjnych, reaktorach epitaksjalnych, czy w sprzęcie do przetwarzania w wysokiej temperaturze, elektroda grafitowa Semicorex zapewnia niezrównaną wydajność w najbardziej wymagających środowiskach termicznych. Łącząc wysoką czystość, precyzyjną geometrię i zaawansowaną obróbkę materiału, Semicorex dostarcza rozwiązanie elektrodowe, które zapewnia stabilne przewodzenie prądu, stałe ogrzewanie i długoterminową niezawodność operacyjną, niezbędną w produkcji półprzewodników nowej generacji.