Wewnętrzna rurka prowadząca

Wewnętrzna rurka prowadząca Semicorex to precyzyjnie zaprojektowana rurka prowadzącaskładnik węgiel/węgiel (C/C).zaprojektowany do zaawansowanych zastosowań w polu termicznym w wysokiej temperaturze, szczególnie przy wzroście kryształów krzemu o wysokiej czystości. Jako kluczowy element pieców do wzrostu kryształów, składnik ten odgrywa kluczową rolę w kształtowaniu i stabilizowaniu gradientu termicznego, zapewniając optymalne tworzenie kryształów i stałą jakość materiału.

Wykonana z kompozytu węglowego wzmocnionego włóknem węglowym o dużej gęstości, wewnętrzna rura prowadząca zapewnia wyjątkową integralność strukturalną i stabilność termiczną w ekstremalnych warunkach. Dzięki gęstości ≥1,35 g/cm3 i wytrzymałości na zginanie ≥110 MPa zachowuje wytrzymałość mechaniczną nawet podczas długotrwałego narażenia na działanie podwyższonych temperatur. Właściwości te są niezbędne w produkcji krzemu klasy półprzewodnikowej, gdzie nawet niewielkie wahania warunków termicznych mogą znacząco wpłynąć na jednorodność kryształów i współczynnik defektów.

Podstawowa funkcjonalność: Precyzyjna kontrola gradientu

Podstawową rolą wewnętrznej rurki prowadzącej C/C jest tworzenie precyzyjnego gradientowego pola temperaturowego. Podczas procesu wzrostu kryształów krzemu umieszcza się go bezpośrednio nad stopionym materiałem, aby:

Bezpośredni przepływ gazu: kieruje przepływem obojętnego argonu, zapewniając skuteczne usuwanie oparów tlenku krzemu (SiO) z powierzchni stopu, zapobiegając zanieczyszczeniu kryształu tlenem.

Osłona termiczna: Chroni rosnący kryształ przed bezpośrednim promieniowaniem cieplnym ze ścian tygla, ustanawiając stromy osiowy gradient temperatury niezbędny do szybkiego wyciągania kryształów o wysokiej jakości.

Efektywność energetyczna: Koncentrując ciepło w strefie topienia i izolując górne elementy pieca, znacznie zmniejsza się całkowite zużycie energii.

Dane techniczne i doskonałość materiałów

Nasze wewnętrzne rurki prowadzące są produkowane przy użyciu dużej gęstościKompozyty węgiel/węgiel, zapewniając doskonałą alternatywę dla tradycyjnego grafitu. Właściwości materiału są zoptymalizowane pod kątem ekstremalnych warunków panujących w półprzewodnikowych piecach próżniowych:

Gęstość: ≥ 1,35 g/cm3

Wytrzymałość na zginanie: ≥ 110 MPa

Współczynnik rozszerzalności cieplnej (CTE): ≤ 1,0 × 10⁻⁶ /K

Przewodność cieplna (temperatura pokojowa): ≤ 10 W/(m·K)

Przemysł

W miarę jak branża zmierza w kierunku większych rozmiarów płytek (300 mm i 450 mm), wymagania dotyczące pola termicznego rosną wykładniczo. Nasze wewnętrzne rury prowadzące są kompatybilne z głównymi markami pieców CZ i można je dostosować pod względem geometrii i powłoki.