Zalety powłoki TAC w SIC pojedynczy wzrost

Obecnie węgliek krzemu dominuje w trzeciej generacji półprzewodników. W strukturze kosztów urządzeń węgliowych krzemowych substraty stanowią 47%, a epitaksja stanowi 23%. Razem te dwa elementy stanowią około 70% ogólnych kosztów produkcji, co czyni je kluczowymi w łańcuchu produkcji urządzeń węglika krzemu. W konsekwencji poprawa szybkości wydajności pojedynczych kryształów z węglików krzemowych - a tym samym obniżenie kosztów substratów - staje się jednym z najważniejszych wyzwań w produkcji urządzeń SIC.

Aby przygotować wysokiej jakości, wysokowydajnePodłoża z węglików krzemowych, potrzeba lepszych materiałów pola termicznego w celu dokładnego kontrolowania temperatur produkcyjnych. Zestaw tygli termicznej, który jest obecnie używany, składa się przede wszystkim ze struktury grafitowej o dużej czystości, która jest wykorzystywana do ogrzewania stopionego węgla i proszków krzemowych przy jednoczesnym utrzymaniu temperatury. Podczas gdy materiały grafitowe wykazują wysoką wytrzymałość i moduł, doskonałą odporność na wstrząsy termiczne i dobrą odporność na korozję, mają również godne uwagi wady: są podatne na utlenianie w środowiskach tlenowych o wysokiej temperaturze, nie mogą dobrze wytrzymać amoniaku i mają słabą odporność na zarysowania. Ograniczenia te utrudniają wzrost pojedynczych kryształów z węglików krzemu i produkcję krzemowych wafli epitaksjalnych, ograniczając rozwój i praktyczne zastosowania materiałów grafitowych. W rezultacie powłoki w wysokiej temperaturze, takie jak węglik tantalu, zyskują przyczepność.

Zalety komponentów powlekanych węglika tantalu

WykorzystaniePowłoki do węglików do tantalu (TAC)może rozwiązać problemy związane z defektami krawędzi kryształów i zwiększyć jakość wzrostu kryształów. Podejście to jest zgodne z podstawowym celem technicznym „rosnącego szybszego, grubszego i dłuższego”. Badania branżowe wskazują, że tygle grafitowe powlekane węglika tantalu mogą osiągnąć bardziej jednolite ogrzewanie, zapewniając doskonałą kontrolę procesu dla SIC pojedynczych kryształów i znacznie zmniejszając prawdopodobieństwo tworzenia polikrystalicznego na krawędziach kryształów SIC. Dodatkowo,Powłoka z węglikiem tantaluoferuje dwie główne korzyści:

1. Wady SIC

Zazwyczaj istnieją trzy kluczowe strategie kontrolowania defektów w pojedynczych kryształach SIC. Oprócz optymalizacji parametrów wzrostu i stosowanie wysokiej jakości materiałów źródłowych (takich jak proszek źródłowy SIC), przejście na tygły grafitowe powlekane węglika tantalu może również promować lepszą jakość kryształów.

2. Umieszczenie życia grafitowych

Koszt kryształów SIC pozostał wysoki; Fabrykatyka z grafitem stanowią około 30% tego kosztu. Zwiększenie żywotności usług grafitowych ma kluczowe znaczenie dla redukcji kosztów. Dane z brytyjskiego zespołu badawczego sugerują, że powłoki z węglikiem Tantalu mogą przedłużyć żywotność komponentów grafitowych o 30-50%. Na podstawie tych informacji zwykłe zastąpienie tradycyjnego grafitu grafitem powleczonym węglika tantalu może obniżyć koszty kryształów SIC o 9%-15%.

SemiCorex oferuje wysokiej jakościTantalum Carbide powlekanyCrucibles, podatniki i inne niestandardowe części. Jeśli masz jakieś zapytania lub potrzebujesz dodatkowych szczegółów, nie wahaj się z nami skontaktować.

Kontakt telefon # +86-13567891907

E -mail: sales@semicorex.com