Jak zaawansowane materiały rozwiązują 3 krytyczne wyzwania w projektowaniu pieca półprzewodnikowego

Wyścig do zmniejszania wielkości tranzystora i skalowania wydajności ogniw słonecznych popycha sprzęt do przetwarzania termicznego do swoich granic. W Semicorex spędziliśmy dwie dekady współpracując z wiodącymi producentami półprzewodników i PV, aby zająć się powtarzającym się punktem bólu: Gdy standardowe materiały zawodzą w ekstremalnych warunkach, można zagrożić całe partie produkcyjne.

Powłoki CVD: zbroja komponentów procesowych

Powłoki chemiczne odkładania pary (CVD), takie jak węglik krzemowy (SIC) i węglika tantalu (TAC), rewolucjonizują długowieczność komponentów w trudnych środowiskach:

Powłoka sicZalety:

Wytwarza temperatury do 1650 ° C w obojętnej atmosferze

Zmniejsza zanieczyszczenie cząstek w reaktorach wzrostu epitaksjalnego

Rozszerza żywotność serwisową podatników grafitowych o 3-5x

Powłoka TACW barierach dyfuzyjnych:

Zapobiega stopionej infiltracji krzemu w tyrkach (99,999% retencja czystości)

Minimalizuje wypaczenie opłat podczas szybkiego przetwarzania termicznego (RTP)

Gdy temperatury przekraczają 1600 ° C: przewaga powlekania CVD

To nie jest magia - to nauka materiałowa. Nasz zastrzeżony proces CVD osadza się zarówno w powłokach SIC, jak i TAC z precyzją na poziomie atomowym, tworząc powierzchnie, które:

Odporność na korozję pary krzemowej o 3x dłuższy niż standardowe powłoki

Utrzymuj zmienność grubości <0,5 µm w różnych geometriach

Wyeliminuj rozwarstwienie powłoki nawet podczas cykli termicznych

Cichy kryzys w jednolitości termicznej

W kryształowych piecach wzrostu niespójny rozkład temperatury może zmienić wlewkę krzemu o wartości 250 000 USD w złom. Poprzez materialne innowacje, takie jak:

Felt grafitu stopniowany w gęstości (0,18-0,25 g/cm³ Projekt gradientu)

Izolatory kompozytowe z węglem węglowym z <2% anizotropią rozszerzającą rozszerzenie

... pomogliśmy klientom osiągnąć:

✔️ ± 1,5 ° C Jednomierność temperatury osiowej w systemach 300 mm czochralski

✔️ 40% szybsze szybkości chłodzenia bez pękania wlewków

Dlaczego czystość kwarcowa ma znaczenie bardziej niż kiedykolwiek

Kiedy odlewni odlewnie poziomu-1 prześledził wady cząstek do ich komory trawienia, nasze bezwrotne roztworze kwarcowe bez pęcherzyków:

Zmniejszone zanieczyszczenie metalu o 89% (analiza ICP-MS)

Rozszerzone odstępy konserwacji zapobiegawczej od 3 do 8 miesięcy

Osiągnięte 99,999% początkową czystość z zawartością metali alkalicznych <0,1 ppb

Poza specyfikacjami: Inżynieria aplikacji ma znaczenie

Podczas gdy specyfikacje techniczne zapewniają podstawowe porównania, wydajność rzeczywistego zależy od:

• Sprzężenie do procesu materiału - w jaki sposób komponenty oddziałują z określonymi chemii (np. Cl₂ vs. plazmy SF₆)

• Biblioteki trybu awarii - nasza baza danych ponad 1200 przypadków niepowodzenia komponentów informuje o wyborze materiałów

• Niestandardowe ocenianie - dostosowanie porowatości/przewodności grafitowej w różnych przekrojach

SemiCorex oferuje wysokiej jakościTantalum Carbide powlekanyIKrzemowy pokrytej węglikiem silikonowymspersonalizowane części. Jeśli masz jakieś zapytania lub potrzebujesz dodatkowych szczegółów, nie wahaj się z nami skontaktować.

Kontakt telefon # +86-13567891907

E -mail: sales@semicorex.com