Tygle pokryte TAC w wzroście kryształów SIC

W ostatnich latach,TAC powlekaneKrucible stały się ważnym rozwiązaniem technicznym, ponieważ naczynia reakcyjne w procesie wzrostu kryształów węglików krzemowych (SIC). Materiały TAC stały się kluczowymi materiałami w dziedzinie wzrostu kryształu węgla krzemu ze względu na ich doskonałą odporność na korozję chemiczną i stabilność w wysokiej temperaturze. W porównaniu z tradycyjnymi grafitowymi krzyżami, tygle powlekane TAC zapewniają bardziej stabilne środowisko wzrostu, zmniejszają wpływ korozji grafitowej, rozszerzyć żywotność usług tygla i skutecznie unikaj zjawiska owijania węgla, zmniejszając w ten sposób gęstość mikrotubów.

 Ryc. 1 Wzrost kryształów SIC

Zalety i eksperymentalna analiza tygli powlekanych TAC

W tym badaniu porównaliśmy wzrost kryształów węglików krzemu z wykorzystaniem tradycyjnych grafitów i grafitowych tygli pokrytych TAC. Wyniki wykazały, że tygle powlekane TAC znacznie poprawiają jakość kryształów.

Ryc. 2 OM Obraz wlewki sic uprawianej metodą PVT

Ryc. 2 ilustruje, że kryształy z węglików krzemowych uprawiane w tradycyjnych grafitach wyświetlają wklęsły interfejs, podczas gdy te uprawiane w tyłkach powlekanych TAC wykazują wypukły interfejs. Ponadto, jak pokazano na rycinie 3, zjawisko polikrystaliczne krawędzi jest wyraźne w kryształach uprawianych przy użyciu tradycyjnych grafitowych krzyżowców, podczas gdy zastosowanie tygli powlekanych TAC skutecznie łagodzi ten problem.

Analiza wskazuje, żePowłoka TACPodnosi temperaturę na krawędzi tygla, zmniejszając w ten sposób szybkość wzrostu kryształów w tym obszarze. Dodatkowo powłoka TAC zapobiega bezpośredniemu kontaktowi między ścianą boczną grafitową a kryształem, co pomaga złagodzić zarodkowanie. Czynniki te łącznie zmniejszają prawdopodobieństwo występowania polikrystaliczności na krawędziach kryształu.

Ryc. 3 Obrazy OM waflów na różnych etapach wzrostu

Ponadto kryształy z węglików krzemowych uprawianePowlekane TACKrzyże nie wykazywały prawie żadnej kapsułkowania węgla, powszechnej przyczyny defektów mikropełu. W rezultacie kryształy te wykazują znaczne zmniejszenie gęstości defektu mikropełu. Wyniki testu korozji przedstawione na rycinie 4 potwierdzają, że kryształy uprawiane w tyłkach powlekanych TAC praktycznie nie mają wad mikropipe.

Ryc. 4 OM Obraz po wytrawianiu KOH

Poprawa jakości kryształów i kontroli zanieczyszczeń

Dzięki testom GDM i Hall kryształów badanie wykazało, że zawartość TA w kryształu nieznacznie wzrosła, gdy zastosowano tyłki powlekane TAC, ale powłoka TAC znacznie ograniczyła wnikanie domieszki azotu (N) do kryształu. Podsumowując, krzyżowe pokryte TAC mogą uprawiać kryształy węglika krzemu o wyższej jakości, szczególnie w zmniejszaniu gęstości defektu (zwłaszcza mikrotubów i kapsułkowania węgla) i kontrolowania stężenia domieszkowania azotu.

SemiCorex oferuje wysokiej jakościTygla grafitowa powlekana TACdla wzrostu kryształu SIC. Jeśli masz jakieś zapytania lub potrzebujesz dodatkowych szczegółów, nie wahaj się z nami skontaktować.

Kontakt telefon # +86-13567891907

E -mail: sales@semicorex.com