2025-06-04
Obecnie metody syntezyproszek o wysokiej czystościW przypadku rosnących pojedynczych kryształów obejmuje głównie: metodę CVD i ulepszoną metodę syntezy samookropagowania (znaną również jako metoda syntezy w wysokiej temperaturze lub metoda spalania). Wśród nich źródło SI metody CVD do syntezy proszku SIC ogólnie obejmuje silan i tetrachlorku krzemu itp., A źródło C zwykle wykorzystuje tetrachlorowodor węglowy, metan, etylen, acetylen i propan itp., Podczas gdy dimetylodichlorosilan i tetrametylisilan może w tym samym czasie zapewnić źródło Si.
Poprzednia metoda syntezy samobieżnej jest metodą syntezy materiałów poprzez zapalenie reagenta ślepego ze źródłem ciepła zewnętrznego, a następnie stosując chemiczne ciepło reakcji samej substancji, aby późniejszy proces reakcji chemicznej trwał spontanicznie. Większość tej metody wykorzystuje proszek krzemowy i sadzy jako surowce i dodaje inne aktywatory do bezpośrednio reagowania ze znaczną prędkością przy 1000-1150 ℃, aby wytworzyć proszek SIC. Wprowadzenie aktywatorów nieuchronnie wpłynie na czystość i jakość zsyntetyzowanych produktów. Dlatego wielu badaczy zaproponowało na tej podstawie ulepszoną metodę syntezy samookrzepującej. Ulepszenie ma głównie uniknięcie wprowadzenia aktywatorów i zapewnienie, że reakcja syntezy jest przeprowadzana w sposób ciągły i skuteczny poprzez zwiększenie temperatury syntezy i ciągłe dostarczanie ogrzewania.
Wraz ze wzrostem temperatury reakcji syntezy węgla krzemu, kolor zsyntetyzowanego proszku będzie stopniowo przyciemniać. Możliwym powodem jest to, że zbyt wysoka temperatura spowoduje rozkład SIC, a ciemnienie koloru może być spowodowane ulatnianiem zbyt dużej ilości SI w proszku.
Ponadto, gdy temperatura syntezy wynosi 1920 ℃, zsyntetyzowana postać kryształu β-SIC jest stosunkowo dobra. Jednak gdy temperatura syntezy jest większa niż 2000 ℃, odsetek C w zsyntetyzowanym produkcie znacznie wzrasta, co wskazuje, że na fazę fizyczną zsyntetyzowanego produktu ma wpływ temperatura syntezy.
Eksperyment wykazał również, że gdy temperatura syntezy wzrasta w określonym zakresie temperatur, wzrasta również wielkość cząstek zsyntetyzowanego proszku SIC. Jednak gdy temperatura syntezy nadal rośnie i przekracza pewien zakres temperatur, wielkość cząstek zsyntetyzowanego proszku SIC stopniowo zmniejsza się. Gdy temperatura syntezy jest wyższa niż 2000 ℃, wielkość cząstek zsyntetyzowanego proszku SIC będzie miała tendencję do stałej wartości.
Oferty SemicorexWysokiej jakości krzemowy proszekW przemyśle półprzewodnikowym. Jeśli masz jakieś zapytania lub potrzebujesz dodatkowych szczegółów, nie wahaj się z nami skontaktować.
Kontakt telefon # +86-13567891907
E -mail: sales@semicorex.com