Łódź waflowa krzemowa

Za każdym procesem wysokiej temperatury w produkcji opłat znajduje się cichy, ale kluczowy gracz: łódź opłat. Jako podstawowy nośnik, który bezpośrednio kontaktuje się z waflem krzemowym podczas przetwarzania opłat, jego materiał, stabilność i czystość są bezpośrednio związane z końcową wydajnością i stabilnością procesu. Wśród różnych materiałów nośnych,węglik krzemowy (sic)Łodzie stopniowo zastępują tradycyjne rozwiązania kwarcowe, stając się preferowanym rozwiązaniem dla zaawansowanych procesów i wysokiej klasy sprzętu.

Dlaczego łodzie waflowe?

Wraz z rozwojem węzłów procesowych poniżej 7 nm i rozszerzaniem okien procesowych w wysokiej temperaturze, tradycyjne łodzie waflowe kwarcowe coraz częściej walczą pod względem stabilności termicznej, kontroli cząstek i zarządzania długością życia.

Jednak łodzie waflowe krzemowe stopniowo zyskują na znaczeniu ze względu na następujące zalety:

1. Stabilna w wysokich temperaturach:

Oferują długoterminowe temperatury robocze 1350-1600 ° C, łatwe do obsługi procesów głównego nurtu, takich jak CVD, dyfuzja i wyżarzanie. Nawet krótka ekspozycja na temperatury o 1800 ° C nie wykazuje zmiękczania ani deformacji, dzięki czemu są odpowiednie do sprzętu wyższej klasy, takich jak piece z węglika z pojedynczych kryształów.

2. Wysokość rozszerzania i wysoka stabilność szoku termicznego:

Przy niskim współczynniku rozszerzalności cieplnej mogą one wytrzymać szybki wzrost temperatury i zmniejsza się, minimalizując pękanie strukturalne spowodowane naprężeniem termicznym. Utrzymują doskonałą morfologię i wydajność w wysokiej temperaturze, złożonej atmosferze (takich jak wodór, azot, amoniak i fluorki).

3. powierzchnia i wyjątkowo niskie zanieczyszczenie:

Wysoka czystość materiału z minimalnymi zanieczyszczeniami metalu. Niska chropowatość powierzchni, zapobiegając wtórne zanieczyszczenie wafli krzemu; Doskonała kontrola chropowatości powierzchni, z RA poniżej 0,1 μm, tłumi zrzucanie cząstek i spełnia wymagania dotyczące pomieszczeń czystych zaawansowanych procesów;

4. Jednoczęściowe formowanie, precyzyjne struktury łodzi waflowych można tworzyć bezpośrednio za pomocą BezprodukuDrukowanie 3D, eliminowanie potrzeby pleśni, znacznie poprawiając wydajność dostosowywania; W połączeniu z technologią obróbki pięcioosiowej i przecinania drutu zęby łodzi są bezrogowe, zapobiegając zarysowaniom wafle i zapewniając płynną zautomatyzowaną obsługę;

5. Wysoka siła i długie życie: 

Pojedyncza łódź ma wysoką wytrzymałość obciążenia i może jednocześnie wspierać dziesiątki do setek 12-calowych waflów. W porównaniu z tradycyjnymi łodziami kwarcowymi średnia żywotność łodzi jest 5-10 razy dłużej, zmniejszając częstotliwość zmiany sprzętu i całkowity koszt własności.

Scenariusz aplikacji

Szeroka zdolność adaptacyjnałodzie z waflów krzemowychRozszerza swoje zastosowanie poza dziedzinę półprzewodników na różne scenariusze procesów w wysokiej temperaturze, w tym nowe materiały energetyczne, produkcję LED i badania energii jądrowej.

Przemysł półprzewodnikowy

Jest odpowiedni do kluczowych procesów, takich jak utlenianie, dyfuzja, osadzanie CVD i implantacja jonów, co czyni go niezbędnym nośnikiem o wysokiej temperaturze dla linii procesowych sub-7NM.

Przemysł fotowoltaiczny

W rozwijających się technologiach baterii, takich jak Topcon i HJT, łodzie opłat są stosowane w procesach pieca w wysokiej temperaturze, takich jak LPCVD i wyżarzanie, pomagając poprawić wydajność energetyczną i szybkość konwersji.

Półprzewodnicy trzeciej generacji

W przypadku procesów wzrostu epitaksjalnego GAN i SIC w diodach LED wspierają podłoża szafirowe lub krzemowe. Wytrzymują one żrące gazy, takie jak NH₃ i HCL, wspierając produkcję urządzeń energetycznych o wysokiej częstotliwości.

Nowa platforma energetyczna i badania w wysokiej temperaturze

Obsługuje reakcję spiekania materiałów katody litowej baterii i obróbkę cieplną materiałów nuklearnych, łącząc odporność na ciepło, odporność na korozję i czystość.

SemiCoRex oferuje wysoką czystośćDostosowane łodzie SIC. Jeśli masz jakieś zapytania lub potrzebujesz dodatkowych szczegółów, nie wahaj się z nami skontaktować.

Kontakt telefon # +86-13567891907

E -mail: sales@semicorex.com