Dlaczego ściany boczne wyginają się podczas trawienia na sucho

Trawienie na sucho to zazwyczaj proces łączący działania fizyczne i chemiczne, przy czym bombardowanie jonami jest kluczową techniką trawienia fizycznego. Podczas trawienia kąt padania i rozkład energii jonów mogą być nierówne.

Jeśli kąt padania jonów zmienia się w różnych miejscach jonów na ściankach bocznych, efekt trawienia również będzie się różnił. W obszarach o większych kątach padania jonów efekt trawienia jonowego na ścianki boczne jest silniejszy, co prowadzi do większego trawienia ścian bocznych w tym obszarze i powoduje wyginanie ścian bocznych. Co więcej, nierówny rozkład energii jonów również daje podobny efekt; jony o wyższej energii usuwają materiał skuteczniej, co powoduje niespójne poziomy wytrawiania w różnych miejscach ścian bocznych, co dodatkowo powoduje wyginanie ścian bocznych.

Fotomaska ​​działa jak maska ​​podczas trawienia na sucho, chroniąc obszary, które nie wymagają trawienia. Jednakże na fotomaskę wpływa również bombardowanie plazmą i reakcje chemiczne podczas trawienia, a jej właściwości mogą ulec zmianie.

Nierówna grubość fotorezystu, nierówne zużycie podczas trawienia lub różnice w przyczepności fotomaski do podłoża w różnych miejscach mogą prowadzić do nierównej ochrony ścian bocznych podczas trawienia. Na przykład obszary o cieńszej lub słabszej przyczepności fotorezystu mogą umożliwiać łatwiejsze wytrawienie materiału znajdującego się pod spodem, co prowadzi do wygięcia ścian bocznych w tych miejscach.

Różnice w charakterystyce materiału podłoża

Wytrawiany materiał podłoża może wykazywać różnice we właściwościach, takie jak różna orientacja kryształów i stężenie domieszki w różnych obszarach. Różnice te wpływają na szybkość trawienia i selektywność.

Biorąc za przykład krzem krystaliczny, rozmieszczenie atomów krzemu różni się w zależności od orientacji kryształów, co powoduje różnice w reaktywności z gazem trawiącym i szybkością trawienia. Podczas trawienia te różnice we właściwościach materiału prowadzą do niespójnych głębokości trawienia w różnych miejscach ścian bocznych, co ostatecznie powoduje wyginanie ścian bocznych.

Czynniki związane ze sprzętem

Wydajność i stan sprzętu do trawienia również znacząco wpływają na wyniki trawienia. Na przykład nierównomierny rozkład plazmy w komorze reakcyjnej i nierównomierne zużycie elektrody mogą powodować nierówny rozkład parametrów, takich jak gęstość jonów i energia na powierzchni płytki podczas trawienia.

Co więcej, nierówna kontrola temperatury i niewielkie wahania natężenia przepływu gazu mogą również wpływać na jednorodność trawienia, dodatkowo przyczyniając się do wyginania ścian bocznych.

Semicorex oferuje wysoką jakośćKomponenty CVD SiCdo trawienia. Jeśli masz jakiekolwiek pytania lub potrzebujesz dodatkowych szczegółów, nie wahaj się z nami skontaktować.

Numer telefonu kontaktowego +86-13567891907

E-mail: sales@semicorex.com