Porowaty uchwyt próżniowy z tlenku glinu

Uchwyt podciśnieniowy jest podłączony do urządzenia podciśnieniowego za pomocą rury łączącej. Gdy uchwyt podciśnieniowy zetknie się z przedmiotem obrabianym, takim jak wafelek/cienki film, urządzenie podciśnieniowe zaczyna działać, wytwarzając podciśnienie wewnątrz uchwytu podciśnieniowego. Pod ciśnieniem atmosferycznym obrabiany przedmiot mocno przylega do uchwytu podciśnieniowego, umożliwiając obróbkę. Po zakończeniu obróbki urządzenie próżniowe przestaje działać i powoli napełnia uchwyt próżniowy gazem, automatycznie oddzielając obrabiany przedmiot od uchwytu. Na tym kończy się mocowanie, obróbka i obsługa przedmiotu obrabianego.

Podstawowym celem fotolitografii półprzewodnikowej jest „wydrukowanie” miliardów wzorów obwodów tranzystorowych na płytce z precyzją na poziomie nanometrów. Istotą „fotolitografii” jest użycie źródła światła do napromieniowania wysoce światłoczułego fotomaski, powodując reakcję chemiczną, która powoduje wytrawienie obwodu. Jednakże, gdy źródło światła naświetla płytkę, nieuchronnie oświetla ona również uchwyt elektrostatyczny, który służy jako nośnik płytki. Powstałe odbite światło wtórne może zakłócać proces fotolitografii, powodując naświetlenie w niezamierzonych obszarach i uszkodzenie obwodów elektrycznych. Dlatego czarna powierzchnia uchwytu próżniowego minimalizuje odbicia, zapewniając precyzję systemu fotolitograficznego. Dzięki tym właściwościom czarny tlenek glinu może być szeroko stosowany nie tylko w uchwytach elektrostatycznych, ale także w scenariuszach „tłumiących światło”. Nadejście ery sztucznej inteligencji umożliwiło znaczny rozwój zastosowań komunikacji optycznej, a podłoża z czarnego tlenku glinu są często spotykane w opakowaniach urządzeń optoelektronicznych i elementów emitujących światło.

Ceramika z czarnego tlenku glinuskłada się głównie z Al2O3, z dodatkiem tlenków metali przejściowych jako barwników i środków spiekających, spiekanych w określonej temperaturze. Barwnik jest kluczowym składnikiem tego typu ceramiki, determinującym jej ostateczny kolor. Przy wyborze barwników do uchwytów próżniowych należy zwrócić uwagę na stopień zabarwienia, wytrzymałość mechaniczną, porowatość i wielkość porów uchwytu próżniowego.

Obecnie powszechnie stosowane tlenki metali przejściowych jako barwniki, zarówno w kraju, jak i za granicą, obejmują Fe2O3, CoO, NiO, Cr2O3 i MnO2, przy czym najbardziej rozpowszechnione są Fe2O3, CoO, NiO i MnO2. Ponieważ tlenek glinu jest mniej lotny w wysokich temperaturach, podczas gdy tlenki metali przejściowych są odwrotne, ich lotność wzrasta wraz z temperaturą. Tlenki te podczas spiekania w wysokiej temperaturze tworzą związki typu spinelowego, co zmniejsza ich lotność. Dlatego, aby stłumić ulatnianie się tlenków metali przejściowych, należy dobrać odpowiednie warunki procesu, aby umożliwić im łączenie się w związki typu spinelowego w niższych temperaturach.

Semicorex oferuje cłaporowaty ceramiczny uchwyt próżniowy. Jeśli masz jakiekolwiek pytania lub potrzebujesz dodatkowych szczegółów, nie wahaj się z nami skontaktować.

Numer telefonu kontaktowego +86-13567891907

E-mail: sales@semicorex.com