Epitaksja SiC

Istnieją dwa rodzaje epitaksji: jednorodna i niejednorodna. Aby wyprodukować urządzenia SiC o określonej rezystancji i innych parametrach do różnych zastosowań, podłoże musi przed rozpoczęciem produkcji spełnić warunki epitaksji. Jakość epitaksji wpływa na wydajność urządzenia.

Obecnie istnieją dwie główne metody epitaksjalne. Pierwszą z nich jest epitaksja jednorodna, w której folia SiC jest hodowana na przewodzącym podłożu SiC. Jest to stosowane głównie w przypadku MOSFET, IGBT i innych pól półprzewodnikowych mocy wysokiego napięcia. Drugi to wzrost heteroepitaksjalny, w którym folia GaN jest hodowana na półizolującym podłożu SiC. Stosuje się go w przypadku GaN HEMT i innych półprzewodników mocy niskiego i średniego napięcia, a także urządzeń wykorzystujących częstotliwość radiową i optoelektronicznych.

Procesy epitaksjalne obejmują sublimację lub fizyczny transport pary (PVT), epitaksję z wiązek molekularnych (MBE), epitaksję w fazie ciekłej (LPE) i epitaksję chemiczną w fazie gazowej (CVD). W głównym nurcie metody epitaksjalnej jednorodnej produkcji SiC wykorzystuje się H2 jako gaz nośny, a silan (SiH4) i propan (C3H8) są źródłami Si i C. Cząsteczki SiC powstają w wyniku reakcji chemicznej w komorze strącaniowej i osadzają się na podłożu SiC .

Kluczowymi parametrami epitaksji SiC są grubość i jednorodność stężenia domieszki. Wraz ze wzrostem napięcia w scenariuszu zastosowania urządzenia dalszego, grubość warstwy epitaksjalnej stopniowo wzrasta, a stężenie domieszkowania maleje.

Jednym z czynników ograniczających konstrukcję pojemności SiC jest sprzęt epitaksjalny. Sprzęt do wzrostu epitaksjalnego jest obecnie zmonopolizowany przez włoskie firmy LPE, niemieckie AIXTRON oraz japońskie Nuflare i TEL. Główny cykl dostaw wysokotemperaturowego sprzętu epitaksjalnego SiC został wydłużony do około 1,5–2 lat.

Semicorex dostarcza części SiC do sprzętu półprzewodnikowego, takiego jak LPE, Aixtron itp. Jeśli masz jakiekolwiek pytania lub potrzebujesz dodatkowych szczegółów, nie wahaj się z nami skontaktować.

Numer telefonu kontaktowego +86-13567891907

E-mail: sales@semicorex.com