Co to są łopatki wspornikowe?

Podczas obróbki płytek półprzewodnikowych do podgrzewania płytek półprzewodnikowych wykorzystywane są specjalistyczne piece. Piece te zawierają wydłużone cylindryczne rury, w których płytki są umieszczane na łódeczkach w określonych odstępach czasu. Aby mieć pewność, że sprzęt do przetwarzania nie marnuje płytek i aby wytrzymać warunki przetwarzania panujące w komorze, łódki waflowe i inne urządzenia stosowane w przetwarzaniu płytek są wykonane z materiałów takich jak węglik krzemu (SiC).

Łódki waflowe, załadowane partią wafli do przetworzenia, są ustawione na długich, wspornikowych łopatkach. Łopatki te można wkładać i wyjmować z pieców rurowych i reaktorów. Wiosła składają się ze spłaszczonej części nośnej, która może pomieścić jedną lub więcej łodzi, oraz długiego uchwytu umieszczonego na jednym końcu spłaszczonej części nośnej, ułatwiającej obsługę.

Aby uzyskać najlepsze komponenty w obróbce półprzewodników, zaleca się stosowanie łopatek wspornikowych wykonanych z rekrystalizowanego węglika krzemu z cienką warstwą CVD SiC. Materiał ten charakteryzuje się wysoką czystością i jest najlepszym wyborem dla takich komponentów.

Semicorex produkuje niestandardowe łopatki wspornikowe z wysokiej jakości powłoką CVD SiC. Jeśli masz jakiekolwiek pytania lub potrzebujesz dodatkowych szczegółów, nie wahaj się z nami skontaktować.

Numer telefonu kontaktowego +86-13567891907

E-mail: sales@semicorex.com