Powłoka w polu termicznym półprzewodnikowych monokryształów krzemu

Części powlekane w gorącym polu półprzewodnikowego monokrystalicznego krzemu są zazwyczaj powlekane metodą CVD, w tym pirolityczną powłoką węglową,Powłoka z węglika krzemuIPowłoka z węglika tantalu, każdy o innej charakterystyce.

Wspólne punkty: podłożem jest grafit izostatyczny o wysokiej czystości, zwykle zawierający mniej niż 5 ppm popiołu; stosowane są powłoki metodą CVD; powłoka składa się zasadniczo w 100% z węgla lub węglika krzemu; po pokryciu powierzchnia jest stosunkowo gęsta, gaz, zwłaszcza pary krzemu z pieca lub gazowy tlenek krzemu, mogą w zasadzie zostać zablokowane; jego własne ulatnianie się pyłu jest również bardzo małe.

Różnice: standardowa grubość powłoki, powłoka z węgla pirolitycznego wynosi zwykle około 40um; Powłoka z węglika krzemu jest zwykle wykonywana w grubości około 100 um, ale w zależności od różnych potrzeb klientów można wykonać powłokę w ilości 30 um ~ 150 um, w tym jedną i dwie powłoki; powłoka z węglika tantalu ma zazwyczaj 35 ± 15um.

Pirolityczna powłoka węglowa, jej gęstość odpowiada gęstości nieporowatego grafitu, która wynosi około 2,2. Ma niską rezystywność i wysoką przewodność cieplną w kierunku równoległym powierzchni, dzięki czemu może utrzymać stałą temperaturę powierzchni, a także ma niski współczynnik rozszerzalności cieplnej i wysoki moduł sprężystości. W kierunku prostopadłym do powierzchni współczynnik rozszerzalności cieplnej jest większy, a przewodność cieplna mniejsza.

W przypadku produktów pokrytych węglikiem krzemu moduł sprężystości powłoki jest bardzo wysoki, dziesiątki razy wyższy niż moduł sprężystości wewnętrznego podłoża grafitowego, dlatego aby uniknąć pęknięcia produktu, należy się z nim delikatnie obchodzić.

Pirolityczna powłoka węglowa i powłoka z węglika krzemu o zawartości wszystkich zanieczyszczeń jest mniejsza niż 5 ppm, gdzie zawartość głównego pierwiastka metalicznego jest mniejsza niż 0,1 lub 0,01 ppm, trudniej jest poradzić sobie z pierwiastkiem boru 0,01 lub 0,15 ppm.

Semicorex oferuje wysokiej jakości produkty do powlekania CVD do półprzewodników z indywidualną obsługą. Jeśli masz jakiekolwiek pytania lub potrzebujesz dodatkowych szczegółów, nie wahaj się z nami skontaktować.

Numer telefonu kontaktowego +86-13567891907

E-mail: sales@semicorex.com