Dlaczego warto wybrać susceptory grafitowe powlekane SiC?

Susceptor grafitowyjest jedną z podstawowych części w sprzęcie MOCVD, jest nośnikiem i grzałką podłoża waflowego. Jego właściwości stabilności termicznej i jednorodności termicznej odgrywają decydującą rolę w jakości wzrostu epitaksjalnego wafli, co bezpośrednio decyduje o jednorodności i czystości materiałów warstwy, w rezultacie jej jakość bezpośrednio wpływa na preparację epitaksji. Tymczasem wraz ze wzrostem liczby zastosowań i zmianami warunków pracy bardzo łatwo się zgubić i należy do materiałów eksploatacyjnych. Doskonała przewodność cieplna i stabilność grafitu sprawiają, że jest to dobra zaletapodstawowy element wyposażenia MOCVD. Jeśli jednak zostanie użyty tylko czysty grafit, napotka on pewne problemy. W procesie produkcyjnym pojawią się żrące gazy i metaliczne pozostałości organiczne, a podstawa grafitowa będzie korodować i opadać z proszku, co znacznie skraca żywotnośćsusceptor grafitowy, a spadający proszek grafitowy spowoduje również zanieczyszczenie chipa, więc w procesie przygotowania podstawy również Te problemy należy rozwiązać podczas przygotowywania podstawy. Technologia powlekania może zapewnić mocowanie proszku na powierzchni, poprawić przewodność cieplną i wyrównać rozkład ciepła, co staje się główną technologią rozwiązania tego problemu. Główną technologią jest rozwiązanie tego problemu. Zgodnie ze środowiskiem aplikacji i wymaganiamisusceptory grafitowe, powłoka powierzchniowa powinna mieć następujące właściwości.

Wysokie gęstości i pełne owinięcie: podstawa grafitowa jako całość znajduje się w wysokiej temperaturze, korozyjnym środowisku pracy, powierzchnia musi być całkowicie owinięta, a powłoka musi mieć dobrą gęstość, aby odgrywać dobrą rolę ochronną.

Dobra płaskość powierzchni: Ponieważ podłoże grafitowe stosowane do hodowli monokryształów wymaga bardzo dużej płaskości powierzchni, po przygotowaniu powłoki należy zachować pierwotną płaskość podłoża, tj. powierzchnia powłoki musi być jednolita.

Dobra siła wiązania: Zmniejszenie różnicy współczynnika rozszerzalności cieplnej między bazą grafitową a materiałem powłokowym może skutecznie poprawić siłę wiązania między nimi, a powłoka nie jest łatwa do pęknięcia po cyklach termicznych w wysokich i niskich temperaturach.

Wysoka przewodność cieplna: Wysokiej jakości wzrost wiórów wymaga szybkiego i równomiernego nagrzania podłoża grafitowego, dlatego materiał powłokowy powinien mieć wysoką przewodność cieplną.

Wysoka temperatura topnienia, utlenianie w wysokiej temperaturze i odporność na korozję: Powłoka powinna być w stanie pracować stabilnie w wysokich temperaturach i korozyjnych środowiskach pracy.